利索能及
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专利号: 2019102249007
申请人: 西安电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种无需助粘剂的瞬态胶带转印法,其特征在于,包括如下步骤:

1)采用光刻与反应离子刻蚀工艺,在SOI基片上形成100‑200nm厚的单晶硅薄膜孤岛;

2)采用湿法刻蚀工艺,将含有单晶硅薄膜孤岛的基片放入BOE溶液中浸泡5‑10min,刻蚀掉基片上单晶硅薄膜孤岛以外的部分所暴露的埋氧化层;

3)采用光刻工艺,在单晶硅薄膜孤岛边缘制作锚点,以防止后续完全刻蚀埋氧化层后单晶硅薄膜的位移和脱落;

4)采用湿法刻蚀工艺,将制有锚点的基片放入49%HF溶液中1‑2h,完全刻蚀掉埋氧化层,使单晶硅薄膜掉落在衬底上,并被锚点钳位;

5)取出瞬态胶带,将该瞬态胶带与4)所得基片耦合,再将瞬态胶带与基片剥离,以使瞬态胶带获取100‑200nm厚的单晶硅薄膜;所述瞬态胶带为可溶于丙酮的非弹性材料;

6)将带有单晶硅薄膜的瞬态胶带与任意接收基片直接耦合,并将该耦合获得的体系放入丙酮中浸泡3min,以使瞬态胶带溶解,形成单晶硅薄膜/接收基片界面以使得所述单晶硅薄膜被所述接收基片获取;所述接收基片包括AlGaN/GaN衬底基片或Ga2O3基片或GaAs基片;

7)将浸泡后的基片用去离子水冲洗,并用氮气吹干,再采用等离子去胶工艺,去除该基片上的胶带残留物,得到洁净的基片,完成转印。

2.根据权利要求1所述的方法,其中1)中的反应离子刻蚀工艺,其参数设置为:气体流量BCl3:Cl2=60:60sccm,刻蚀功率选取150W。