利索能及
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专利号: 2019101878675
申请人: 浙江师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种压电气体泵,其特征在于:泵体上设有出入孔、至少两个体腔及与体腔数量相等的储气室,入孔与各体腔及出孔依次串联,从入孔到出孔的各体腔的直径依次减小;各体腔上都设有进口腔和与储气室连通的出口腔,入孔与其相邻体腔的进口腔连通,出孔与其相邻的体腔的出口腔连通,两相邻体腔的进出口腔连通;进出口腔与其内所装阀片分别构成进出口阀;两个泵体经螺钉连接且其直径相同的体腔相对安装,两个泵体经密封圈将换能器压接在其体腔内,换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成,压电振子由基板和压电片粘接而成,压电片表面电极包括驱动单元和传感单元,压电片的驱动单元和传感单元与基板构成的复合层分别构成驱动器和传感器;换能器及密封圈与泵体构成泵腔,一个泵体上的各泵腔串联成一个泵单元,两个泵体上的泵单元并联;各驱动器及传感器经不同的导线组与驱动电源相连,驱动电源输出给各驱动器的是直流电压信号并根据传感器感应电压的变化情况使驱动电压换向。