1.一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机,其特征在于:整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、第四单向阀、第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子构成;所述上板、中间板和下板从上到下依次相连,上板与中间板之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子,中间板与下板之间安装有第二压电振子;所述第一压电振子、第三压电振子与中间板之间分别设置有第一腔、第三腔,所述第二压电振子与中间板之间设置有第二腔,第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的变形分别作用于第一腔、第二腔、第三腔;所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子均由金属基板和压电陶瓷片同心粘结而成;所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子与中间板连接时均采用了密封圈进行密封;所述第一腔的进口设置有气体入口,气体入口与第一腔之间设置有第一单向阀,第一腔与第二腔之间设置有第二单向阀,第二腔与第三腔之间设置有第三单向阀;所述第三腔出口设置有气体出口,气体出口与第三腔之间设置有第四单向阀;所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的直径依次减小,所述第一腔、第二腔、第三腔的体积也依次减小;工作过程可分为第一工作状态和第二工作状态;第一工作状态时,第一压电振子和第三压电振子施加与压电陶瓷片极化方向相反的电压,第二压电振子施加与压电陶瓷片极化方向相同的电压;第二工作状态时,第一压电振子和第三压电振子施加与压电陶瓷片极化方向相同的电压,第二压电振子施加与压电陶瓷片极化方向相反的电压;在交变电压持续驱动下,第一、二工作状态反复转变,输出连续气体。
2.根据权利要求1所述的串联腔体阵列式微型压电气体压缩机,其特征在于:所述冷却套设置在上板、中间板以及下板连接体外围,并与上板、中间板以及下板连接体外围表面充分接触,接触面涂有导热胶;所述冷却套设置有冷却管道;所述冷却套外围连接有外套,外套上设置有冷却液入口和冷却液出口。