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专利号: 2019101465884
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料,其特征在于,包括CH薄膜材料和Sb薄膜材料,且CH薄膜材料和Sb薄膜材料交替排列,其中CH薄膜材料为聚乙炔。

2.根据权利要求1所述的CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料,其特征在于,所述CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料的厚度为45~55nm。

3.一种如权利要求1所述的CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射法,以CH靶和Sb靶为溅射靶材,交替沉积CH薄膜材料和Sb薄膜材料,形成CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法的溅射气体为Ar气,溅射功率为200‑260W,溅射温度为150‑200℃,所述磁控溅射法的衬底为氧化硅基片,本底‑4真空度小于1×10 Pa。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述Ar气的Ar的体积百分比99.999%以上,气体流量为20‑40sccm,溅射气压为0.4Pa。

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述Ar气的气体流量为30sccm。

7.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法的溅射功率为230W,溅射温度为180℃。

8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述CH靶和Sb靶形状为圆柱形,厚度为4mm。

9.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法的具体步骤包括如下:(1)清洗氧化硅基片;

(2)安装好溅射CH靶与Sb靶,设定溅射功率、溅射Ar气流量、溅射气压和所述基片温度;

(3)制备CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料:

(a)将空基托分别旋转到CH靶与Sb靶靶位,分别打开靶上的AC电源,开始对CH靶材和Sb靶材表面进行溅射,清洁靶位表面;

(b)CH靶与Sb靶表面清洁完成后,关闭CH靶和Sb靶靶位上所施加的交流电源,将待溅射的基片旋转到Sb靶位,打开Sb靶靶位上的交流电源,开始溅射Sb薄膜;

(c)待Sb靶溅射结束后,将待溅射基片旋转到CH靶靶位,开启CH靶靶位交流电源,开始溅射CH薄膜;

(d)重复步骤(b)和(c),获得CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料。

10.一种如权利要求1或2所述的CH/Sb纳米复合多层相变薄膜材料在相变存储器中的应用。