1.晶圆用覆膜装置,其特征在于:包括覆膜底座,所述覆膜底座上设有用于固定待覆膜晶圆的固定槽,固定槽的外围设有一圈与固定槽同心设置的环形槽;覆膜底座的上方设有覆膜机构,所述覆膜机构包括中部的伸缩套筒,伸缩套筒的顶部设有水囊,伸缩套筒的底部设有滴水孔,伸缩套筒上铰接有多个可沿晶圆中部径向滑动的挤压组件,挤压组件与伸缩套筒之间活动连接有限位驱动件。
2.根据权利要求1所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:还包括机架,所述伸缩套筒包括转动连接在机架上的第一套筒,第一套筒内滑动连接有第二套筒,第二套筒的底部固接有密封板,所述密封板的底端中部设有弹性块,密封板与第一套筒之间固接有支撑弹簧。
3.根据权利要求2所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述挤压组件包括多个铰接在第一套筒外壁的挤压杆,挤压杆的底端均活动连接有挤压块,挤压块内均设有开口槽,开口槽内均设有电动伸缩杆,电动伸缩杆的端部固接有切割刀。
4.根据权利要求3所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述限位驱动件包括转动连接在挤压杆上的第一套管,第一套管内滑动连接有第二套管,第二套管远离第一套管的一端转动连接在第二套筒的外壁上,第一套管的底部内侧设有用于驱动电动伸缩杆伸缩的控制开关,第二套管的顶部外缘固接有可按压控制开关的限位块。
5.根据权利要求3或4所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述挤压块设有开口槽的侧壁设有斜面。
6.根据权利要求5所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述覆膜底座的下方设有集水箱,所述环形槽上设有多个漏水孔,漏水孔与集水箱之间连通有导管。
7.根据权利要求6所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述覆膜底座的一侧设有转动连接在机架上的辊轴,辊轴上可拆卸连接有薄膜卷,覆膜底座上设有用于拉动薄膜的送料机构。
8.根据权利要求7所述的晶圆用覆膜装置,其特征在于:所述送料机构包括设置在覆膜底座两侧部上的两个传送带,传送带上均固接有多个固定块,两个传送带的固定块之间固接有间歇与薄膜接触的粘接杆。