1.一种匀热管板相变微制冷器，包括蒸发器（1）、冷凝器（2）、冷却水管（3）、玻璃板（4）和外部框架（5），其特征在于：蒸发器（1）是由带有微米四棱台结构（10）和纳米半球结构（11）的硅表面制作而成，冷凝器（2）由12块带有微米V形槽（12）和圆柱形纳米结构（13）的冷凝板（8）组成，并且每块冷凝板（8）的下表面与玻璃板（4）键合；外部框架（5）起到固定作用；

蒸发池（6）位于蒸发器（1）正面，所述蒸发池（6）底面上有均匀分布的微米四棱台结构（10）和纳米半球结构（11），形成双层异质微纳二级结构；所述冷凝器（2）表面上有微米V形槽（12）和圆柱形纳米结构（13）双层结构，形成梯度浸润性超疏水液滴自驱动表面，所述圆柱形纳米结构（13）以变间距的形式分布在微米V形槽（12）表面，所述微米V形槽（12）均匀分布在冷凝器（2）表面上；所述玻璃板（4）与冷凝板（8）背面键合形成冷却水管（3），所述蒸发池（6）内的液体与冷却水管（3）相互隔离；

在冷凝板（8）表面上，所述圆柱形纳米结构（13）的间距随离微制冷器中心距离的增大而增大，所述圆柱形纳米结构（13）的间距随着距离微米V形槽（12）底部距离的增大而增大；

所述蒸发器（1）表面上的微米四棱台结构（10）和冷凝板（8）正面的微米V形槽（12）由硅制成；

所述蒸发器（1）表面上的纳米半球结构（11）由二氧化硅制成；以疏水结构、亲水结构同时修饰蒸发器（1）表面确保蒸发池（6）中的液体处于核泡沸腾状态。

2.根据权利要求1所述的匀热管板相变微制冷器，其特点在于：所述冷却水管（3）与外界连接并且横截面是矩形。

3.根据权利要求1所述的匀热管板相变微制冷器，其特点在于：在冷凝板（8）表面上，在靠近外部框架（5）的一侧，所述圆柱形纳米结构（13）的间距最大，在靠近微制冷器中心的一侧，所述圆柱形纳米结构（13）的间距最小，所述圆柱形纳米结构（13）在微米V形槽（12）底部的分布间距要小于在其顶部的分布间距。

4.根据权利要求1所述的匀热管板相变微制冷器，其特点在于：所述蒸发池（6）和高温芯片传热区（7）分别在冷凝器（2）正面和反面，且蒸发池（6）和高温芯片传热区（7）分别在冷凝器（2）正面和反面对应的位置相同。

5.根据权利要求1所述的匀热管板相变微制冷器，其特点在于：所述冷凝板（8）的背面与玻璃板（4）的凹槽面键合形成冷却水管（3）。

6.根据权利要求1所述的匀热管板相变微制冷器的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：S1.蒸发器的制作：

1a) 取一块适合大小的硅片作为蒸发器（1），双面清洗抛光，并在硅片正面用激光刻蚀出蒸发池（6），在蒸发池（6）底部热氧化淀积一层厚度为500nm的二氧化硅薄膜作为湿法腐蚀过程中硅的掩膜；

1b) 在硅片的正面涂光刻胶，用光刻机将掩膜图案转移到硅片表面并无掩膜图案覆盖的光刻胶，BOE腐蚀二氧化硅，开腐蚀窗口，去除剩余光刻胶；

1c) 正面用浓度为40%的KOH溶液腐蚀硅，腐蚀出蒸发器表面的微米四棱台结构（10）；

1d) 用DRIE去除蒸发器硅表面剩余的二氧化硅薄膜；

1e) 正面溅射厚度为5μm的铝膜；

1f) 将带有微米结构的硅表面置于草酸溶液中，用电解法经过两步阳极氧化将铝膜氧化成多孔状均匀有序的AAO膜；

1g)进一步电解，蒸发器区域继续氧化，电解液穿过AAO膜微孔将硅衬底氧化形成二氧化硅半球，制作出纳米半球结构（11）；

1h)使用磷酸和铬酸混合溶液腐蚀掉正面的AAO膜；

1i)在蒸发器的背面制作出高温芯片传热区（7）；

S2.冷凝器的制作：

2a) 另取一块大小合适的硅片作为冷凝板（8），双面清洗抛光，并在正面热氧化淀积一层厚度为1μm的二氧化硅薄膜作为湿法腐蚀过程中硅的掩膜；

2b) 在硅片的正面涂光刻胶，用光刻机将掩膜图案转移到硅片表面并无掩膜图案覆盖的光刻胶，BOE腐蚀二氧化硅，开腐蚀窗口，去除剩余光刻胶；

2c) 正面用浓度为40%的KOH溶液腐蚀硅，腐蚀出冷凝器表面的微米V形槽（12）；

2d) 用DRIE去除冷凝器硅表面剩余的二氧化硅薄膜；

2e) 表面喷胶并光刻，用电子束光刻出纳米结构图形；

2f) DRIE刻蚀出圆柱形纳米结构（13）并去除剩余光刻胶；

2g) 取一块玻璃板作为玻璃板（4），激光刻出冷却水管的凹槽；

2h) 玻璃板凹槽面与冷凝板（8）背面键合；

2i) 用12块冷凝板和玻璃板键合后形成的结构排列形成冷凝器（2），其中，每块冷凝板向中心倾斜10度。