1.一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜由面心立方结构的(CrTa)N置换固溶体和面心立方结构的Ag两相构成,其化学式为(CrTa)N/Ag;该复合膜的制备方法包括如下步骤:(1)将预处理后的基体置于溅射室内,调节真空度6.0×10-4 Pa以下,通入氩气起弧,启动Cr靶、Ta靶和Ag靶,以功率均为20-30 W进行预溅射10-15 min;
(2)将Cr靶以功率150 W在基体上沉积Cr过渡层,并通入N2,随后将Cr靶以功率150 W、Ta靶以功率50 W和Ag靶以功率20-60 W,在溅射气压0.3 Pa条件下共焦溅射2 h,制得银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜;
所述复合膜中Cr的含量为33.0±1.7at. %、Ta的含量为30.8±1.5at. %、N的含量为
32.8±1.6 at. %、O的含量为2.1±0.1 at. %或所述复合膜中Cr的含量为29.1±1.5at. %、Ta的含量为28.1±1.4 at. %、N的含量为32.4±1.6 at. %、O的含量为2.3±0.1 at. %,或所述复合膜中Cr的含量为28.1±1.4at. %、Ta的含量为27.3±1.4at. %、N的含量为32.0±1.6 at. %、O的含量为2.0±0.1 at. %,或所述复合膜中Cr的含量为27.4±1.4at. %、Ta的含量为26.8±1.3at. %、N的含量为31.9±1.6 at. %、O的含量为2.4±0.1 at. %,或所述复合膜中Cr的含量为26.2±1.3at. %、Ta的含量为25.3±1.3at. %、N的含量为31.8±
1.6 at. %、O的含量为2.2±0.1 at. %。
2.根据权利要求1所述的含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜的厚度为1.5-2 μm。
3.根据权利要求1所述的含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜中Ag含量为1.3-14.5 at.%。
4.根据权利要求1所述的含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:步骤(1)中,所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。
5.根据权利要求1所述的含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:所述氩气和氮气流量比为10:5。
6.根据权利要求1所述的含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:步骤(2)中,所述Cr过渡层的厚度为200-500 nm。