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专利号: 2018113892842
申请人: 江苏科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜由面心立方结构的(CrTa)N置换固溶体和面心立方结构的Ag两相构成,其化学式为(CrTa)N/Ag。

2.根据权利要求1所述的银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜的厚度为1.5-2μm。

3.根据权利要求1所述的银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜,其特征在于:该复合膜中Ag含量为1.3-14.5at.%。

4.一种制备权利要求1所述的银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)将预处理后的基体置于溅射室内,调节真空度6.0×10-4Pa以下,通入氩气起弧,启动Cr靶、Ta靶和Ag靶,以功率均为20-30W进行预溅射10-15min;

(2)将Cr靶以功率150W在基体上沉积Cr过渡层,并通入N2,随后将Cr靶以功率150W、Ta靶以功率50W和Ag靶以功率20-60W,在溅射气压0.3Pa条件下共焦溅射2h,制得银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜。

5.根据权利要求4所述的制备银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜的方法,其特征在于:步骤(1)中,所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。

6.根据权利要求4所述的制备银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜的方法,其特征在于:所述氩气和氮气流量比为10:5。

7.根据权利要求4所述的制备银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜的方法,其特征在于:步骤(2)中,所述Cr过渡层的厚度为200-500nm。