1.探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：包括主腔体（21）、中性自由基碎片速度成像飞行管（13）、离子速度成像飞行管（11）、电子速度成像飞行管（12）、激光发生器（22）和光路通道（24）；

所述的主腔体（21）一端镶嵌有环形电子枪进样装置（1），另一端设置有中性自由基碎片速度成像飞行管（13），所述的主腔体（21）内设置有激光束作用区（4），所述的环形电子枪进样装置（1）和激光束作用区（4）之间设置有进样小孔（3），所述的环形电子枪进样装置（1）和进样小孔（3）之间设置有电子透镜（2），环形电子枪进样装置（1）、电子透镜（2）和进样小孔（3）同轴，所述的环形电子枪进样装置（1）包括电子枪和进样装置；

所述的中性自由基碎片速度成像飞行管（13）靠近激光束作用区（4）一端内部设置有中性自由基碎片透镜组（7），所述的中性自由基碎片速度成像飞行管（13）远离激光束作用区（4）一端内依次设置有中性自由基碎片速度的微通道板探测器（10）和中性自由基碎片速度成像CCD探测器（16）；

所述的激光束作用区（4）的两侧分别设置有离子速度成像飞行管（11）和电子速度成像飞行管（12），所述的离子速度成像飞行管（11）靠近激光束作用区（4）一端内部设置有离子透镜组（5），所述的离子速度成像飞行管（11）远离激光束作用区（4）一端内依次设置有离子速度的微通道板探测器（8）和离子速度成像CCD探测器（14）；所述的电子速度成像飞行管（12）靠近激光束作用区（4）一端内部设置有电子透镜组（6），所述的电子速度成像飞行管（12）远离激光束作用区（4）一端内依次设置有电子速度的微通道板探测器（9）和电子速度成像CCD探测器（15）；所述的离子速度成像飞行管（11）和电子速度成像飞行管（12）的侧壁均与真空分子泵连接；

所述的激光束作用区（4）外侧设置有激光发生器（22），所述的激光发生器（22）发生的激光的光路穿过激光束作用区（4）；

所述的环形电子枪进样装置（1）中的电子枪为环形电子枪，进样装置为超声分子束注入装置，所述的超声分子束注入装置，超声分子束注入装置的喷射口设置在环形电子枪的中央位置；

所述的激光发生器（22）发生的激光穿过光路通道（24），所述的激光束作用区（4）设置在光路通道（24）内，所述的光路通道（24）的两端分别设置有前石英窗片（23）和后石英窗片（25）。

2.如权利要求1所述的探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：

所述的离子透镜组（5）由电极板E1、E2、E3、E4组成，电极板E1、E2、E3相邻之间距离相等，所述的激光束作用区（4）设置在电极板E3、E4之间，电极板E1、E2、E3、E4均为中间开有圆孔的电极板，所述的电极板E1、E2、E3与激光束作用区（4）之间的距离依次递减，所述的电极板E1、E2、E3上均施加负电压，所述的电极板E4上均施加正电压，且电极板E1、E2、E3上的电压依次增大，所述的离子速度成像飞行管（11）的内部设置有离子飞行管壁E7，离子飞行管壁E7上施加的电压与E1相同。

3.如权利要求2所述的探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：

电子透镜组（6）由电极板E3、E4、E5、E6组成，电极板E4、E5、E6相邻之间距离相等，所述的激光束作用区（4）设置在电极板E3、E4之间，电极板E3、E4、E5、E6均为中间开有圆孔的电极板，所述的电极板E4、E5、E6与激光束作用区（4）之间的距离依次递增，所述的电极板E4、E5、E6上均施加正电压，所述的电极板E4上均施加负电压，且电极板E4、E5、E6上的电压依次增大，所述的电子速度成像飞行管（12）的内部设置有电子飞行管壁E8，离子飞行管壁E8上施加的电压与E6相同。

4.如权利要求3所述的探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：

中性自由基碎片透镜组（7）由电极板E9、E10、E11、E12组成，电极板E10、E11、E12相邻之间距离相等，所述的激光束作用区（4）设置在电极板E9、E10之间，电极板E9、E10、E11、E12均为中间开有圆孔的电极板，所述的电极板E10、E11、E12与激光束作用区（4）之间的距离依次递增，所述的电极板E9、E10、E11上均施加负电压，所述的电极板E12接地，且电极板E9、E10、E11上的电压依次增大，所述的中性自由基碎片速度成像飞行管（13）的内部设置有电子飞行管壁E13，离子飞行管壁E13接地。

5.如权利要求4所述的探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：

所述的离子速度成像飞行管（11）、电子速度成像飞行管（12）和中性自由基碎片速度成像飞行管（13）外壁均接地。

6.如权利要求5所述的探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：

所述的离子速度成像飞行管（11）侧壁外接第一真空分子泵（17）和第四真空分子泵（20），所述的电子速度成像飞行管（12）侧壁外接第二真空分子泵（18）和第三真空分子泵（19），所述的离子速度成像飞行管（11）、电子速度成像飞行管（12）和中性自由基碎片速度成像飞行管（13）相互连通。