1.一种热管毛细结构,其特征在于,该毛细结构包括基板及设置在基板上的铜微柱阵列,其中,所述的铜微柱阵列表面具有微或/和纳米级孔洞。
2.如权利要求1所述的毛细结构,其特征在于,微铜柱阵列是由直径为40μm、间距为20μm、高度为50μm的呈矩形阵列排列的圆柱形铜柱构成。
3.如权利要求1所述的毛细结构,其特征在于,所述的基板为铜箔基板。
4.如权利要求1-3任一所述的毛细结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)采用光刻技术和电化学沉积法,在铜箔基板表面沉积出Cu-Al2O3纳米复合材料的微柱阵列;
(2)将步骤(1)所述微柱阵列浸泡在NaOH溶液中,将Al2O3纳米颗粒溶解,得到表面具有微或/和纳米级孔洞的铜微柱阵列。
5.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,铜箔基板厚度为100μm。
6.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,光刻过程采用的光刻胶模板制备步骤如下:首先将铜箔基板放入超声波清洗机中清洗干净,然后将KMPR光刻胶旋涂于铜箔基板一表面,旋涂厚度为50μm,然后将涂有光刻胶的铜箔基板放在烘箱中进行前烘;将掩膜板放置于涂有光刻胶的实验材料上,校准位置后采用深紫外光照射,曝光时间为15s;将经曝光后的实验材料放在显影液中,时间为90s,得到表面具有圆柱孔洞阵列结构的光刻胶模板。
7.如权利要求6所述的制作方法,其特征在于,掩膜板的图案为直径是40μm、相邻圆心距为60μm的呈矩形排列的圆形阵列。
8.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,电化学沉积的步骤为:采用稀硫酸调节
200g/L的CuSO4溶液pH值=1±0.1,然后将平均直径为40nm的Al2O3纳米颗粒以30mg/L的浓度分散在上述溶液中,随后将溶液超声振荡30min;将表面具有圆柱孔洞阵列结构的光刻胶模板作为阴极,另一块铜板为阳极,采用恒压电源提供电流,电流密度为6×10-5mA/cm2,通电时间为15min,随后取出铜箔,去除光刻胶后用去离子水清洗,得到表面具有Cu-Al2O3微柱阵列的铜箔基板。
9.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,NaOH溶液的质量分数为5%。
10.如权利要求4所述的制作方法,其特征在于,步骤(2)中,浸泡时间为30min。