1.一种氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,包括氮化硅陶瓷板,金属导电层,其特征在于:在氮化硅陶瓷层和金属导电层之间磁控溅射一层过渡层。
2.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:过渡层为氧化铝层或者金属硅层。
3.根据权利要求2所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:过渡层为厚度为50nm~100nm。
4.根据权利要求3所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:氮化硅陶瓷层远离金属导电层的一侧有散热翅。
5.根据权利要求4所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:散热翅为瓦楞形散热翅或者柱形散热翅。
6.根据权利要求5所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:氮化硅陶瓷层厚度为
0.5mm~2mm,散热翅为0.5mm~5mm。
7.根据权利要求6所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板,其特征在于:金属导电层为铜箔或者铝箔,厚度为0.1mm~2.5mm。
8.一种氮化硅陶瓷散热翅覆铜板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:a)制备带有散热翅的氮化硅陶瓷板;
b)在散热翅相反的氮化硅陶瓷板平面上磁控溅射过渡层;
c)在氮化硅陶瓷板的过渡层上覆金属导电层。
9.根据权利要求8所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板的制备方法,其特征在于:氮化硅陶瓷层厚度为0.5mm~2mm,散热翅为0.5mm~5mm,散热翅为瓦楞形散热翅或者柱形散热翅。
10.根据权利要求9所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板的制备方法,其特征在于:过渡层为氧化铝层或者金属硅层,金属导电层为铜箔或者铝箔,厚度为0.1mm~2.5mm。