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专利号: 2018107843590
申请人: 广西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于包括顺序连接的He-Ne激光器、第一扩束系统、偏振分光镜、λ/2波片、空间光调制器、第一透镜、λ/4波片、第二扩束系统、空间滤波器、第二透镜、聚光镜、第一孔径光阑、投射显微物镜、成像显微物镜、第二孔径光阑、筒镜和CCD相机,其中,空间滤波器和第二透镜之间设有反光板,待测物体放置于投射显微物镜与成像显微物镜之间的带有水平面板的工作台的水平面板上,CCD相机外接计算机。

2.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,所述的空间光调制器为纯相位方式反射空间光调制器。

3.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,所述第一扩束系统和第二扩束系统的规格、性能参数相同。

4.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,所述第一透镜和第二透镜的规格、性能参数相同。

5.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,所述第一孔径光阑和第二孔径光阑的规格、性能参数相同。

6.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,所述偏振分光镜的光线透反射光强比为1:1,材料为K9光学玻璃。

7.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置,其特征在于,待测物与经过聚光镜、第一孔径光阑、显微物镜得到的空间条纹像之间有间距d,d>0。