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专利号: 201810720887X
申请人: 燕山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,包括如下步骤:基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1;

基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2;

根据所述台阶宽度L1和L2的差值,获取待测针尖的半径尺寸。

2.如权利要求1所述的AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,所述基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1以及所述基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2的计算过程如下:其中,

R1为已知尺寸的针尖圆弧半径;

R2为待测尺寸的针尖圆弧半径;

h为纳米台阶的高度;

L0为纳米台阶的边缘肩部宽度;

α为探针进入纳米台阶时扫描轨迹与纳米台阶的夹角;

β为探针离开纳米台阶时扫描轨迹与纳米台阶的夹角。

3.如权利要求2所述的AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,所述根据所述台阶宽度L1和L2的差值,获取待测针尖的半径尺寸的计算过程如下:

4.如权利要求1所述的AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,所述纳米台阶结构为2D栅格结构。

5.如权利要求4所述的AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,已知尺寸的针尖圆弧半径和待测尺寸的针尖圆弧半径均小于纳米台阶相邻栅格之间的宽度。

6.如权利要求1所述的AFM针尖磨损测量方法,其特征在于,已知尺寸的针尖圆弧半径和待测尺寸的针尖圆弧半径均小于纳米台阶的高度尺寸。