1.一种差分式位移传感器,其特征在于,包括:
三角波反射镜,包括若干个反射面;
激光束一,入射至三角波反射镜的反射面;
分光镜组一,包括分光镜一和反光镜二,且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置,且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束一入射至分光镜一,一部分激光束一先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一,另一部分激光束一经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一;
分光镜一和反光镜二呈90度夹角设置,且两个光电探测器一平行设置;
两个所述光电探测器一,用于接收经分光镜组一透射或反射的激光束一,并测量其入射位置;
处理系统,用于根据两个光电探测器接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值;
所述被测物体的位移变化值为:
其中,X表示差分式位移传感器的位移值,Y1表示位移前后一个光电探测器一的入射点的变化距离,Y2表示位移前后另一个光电探测器入射点的变化距离,d1表示一个光电探测器一位移变化后的放大倍数,d2表示另一个光电探测器一位移变化后的放大倍数。
2.根据权利要求1所述的差分式位移传感器,其特征在于,两个光电探测器一和分光镜组一之间的设置位置满足关系:激光束一经分光镜组一后分别入射至两个光电探测器一的入射角相同。
3.根据权利要求1所述的差分式位移传感器,其特征在于,还包括壳体,激光束一由激光源一发射得到,激光源一、分光镜组一和两个光电探测器一均固定设置于壳体内,组成读数头。
4.根据权利要求1‑2任一所述的差分式位移传感器,其特征在于,还包括:激光束二,入射至三角波反射镜的一个反射面,且激光束一与激光束二分别在三角波反射面的初始入射点位置不同;
分光镜组二,包括分光镜三和反光镜四,且分光镜三和反光镜四呈一定夹角设置,且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束二入射至分光镜三,一部分激光束二先后经分光镜三和反光镜四反射后入射至其中一个光电探测器二,另一部分激光束二经分光镜三透射后入射至另一个光电探测器二;
两个所述光电探测器二,用于接收经分光镜组二透射或反射的激光束二,并测量其入射位置;
所述处理系统具体用于,根据两个光电探测器一上所接收到的激光束一的入射位置变化量,或两个光电探测器二上所接收到的激光束二的入射位置变化量,处理得到被测物体的位移变化值。
5.根据权利要求4所述的差分式位移传感器,其特征在于,分光镜三和反光镜四之间的夹角与分光镜一和反光镜二之间的夹角相同。
6.根据权利要求4所述的差分式位移传感器,其特征在于,激光束一和激光束二均入射至三角波反射镜的同一个反射面,或者,激光束一和激光束二分别入射至三角波反射镜的两个不同的反射面。
7.根据权利要求4所述的差分式位移传感器,其特征在于,还包括壳体,激光束一和激光束二分别由激光源一和激光源二发射得到,激光源一、激光源二、分光镜组一、分光镜组二、两个光电探测器一和两个光电探测器二均固定设置于壳体内,组成读数头;或者,还包括两个壳体,激光束一和激光束二分别由激光源一和激光源二发射得到,激光源一、分光镜组一和两个光电探测器一均固定设置于一个壳体内,组成一个读数头,激光源二、分光镜组二和两个光电探测器二均固定设置于另一个壳体内,组成另一个读数头。
8.权利要求1‑3任一所述的差分式位移传感器的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上;
调整激光束一、三角波反射镜、光电探测器一、分光镜组一的位置关系,使得三角波反射镜的反射面反射的激光束一入射至分光镜一,一部分激光束一先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一,另一部分激光束一经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一;
发射激光束一,所述激光束一经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组一,经分光镜组一反射后被一个光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置,经分光镜组一透射后被另一个光电探测器一检测到该透射激光束的初始位置;
被测物体位移,在位移过程中,两个光电探测器一分别检测到激光束一的位置的变化,直到被测物体停止位移;
处理系统通过对两个光电探测器一检测到的位置变化进行处理,获得被测物体的位移值。
9.权利要求4‑7任一所述的差分式位移传感器的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上;
调整激光束一、三角波反射镜、光电探测器一、分光镜组一的位置关系,使得三角波反射镜的反射面反射的激光束一入射至分光镜一,一部分激光束一先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一,另一部分激光束一经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一;调整激光束二、三角波反射镜、光电探测器二、分光镜组二的位置关系,使得三角波反射镜的反射面反射的激光束二入射至分光镜三,一部分激光束二先后经分光镜三和反光镜四反射后入射至其中一个光电探测器二,另一部分激光束二经分光镜三透射后入射至另一个光电探测器二;
发射激光束一,所述激光束一经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组一,经分光镜组一反射后被一个光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置,经分光镜组一透射后被另一个光电探测器一检测到该透射激光束的初始位置;或者,发射激光束二,所述激光束二经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组二,经分光镜组二反射后被一个光电探测器二探测到该反射激光束的初始位置,经分光镜组二透射后被另一个光电探测器二检测到该透射激光束的初始位置;
被测物体位移,在位移过程中,两个光电探测器一分别检测到激光束一的位置的变化,或者两个光电探测器二分别检测到激光束二的位置的变化,直到被测物体停止位移;
处理系统通过对两个光电探测器一或者两个光电探测器二检测到的位置变化进行处理,获得被测物体的位移值。