1.基于光栅衍射的加速度传感器,其特征在于:
所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及多通道ADC外围电路组成;
所述衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成;所述长波光源的四周用遮光板固定,并将靠近光栅一侧的底部遮光板部分开口,开口方向与光栅垂直,使得一部分光源透过,并采用弹簧将光源和遮光板固定;所述衍射光源采用光源外壳将其内部元件集装在一起;
所述砷化镓太阳能电池阵位于衍射光源的下方,其结构为砷化镓太阳能电池阵列纵向并排均匀分布PCB上;
所述多通道ADC外围电路主要由ADC模块,放大器等模块组成,并与太阳能电池阵列连接。
2.根据权利要求1所述的基于光栅衍射的加速度传感器,其特征在于:所述多通道ADC外围电路连接每一列太阳能电池,将每一列的变化光电流放大并转换为相应的变化电平,通过测量相应电平的变化位置即可得到物体在不同方向上的运动情况。
3.根据权利要求1所述的基于光栅衍射的加速度传感器,其特征在于:当传感器沿x轴运动变化时,衍射条纹沿x轴移动;当传感器沿y轴运动变化时,衍射条纹会沿y轴移动;当传感器沿z轴运动变化时,衍射条纹间距会变化。因此,可根据条纹不同的变化情况,计算出传感器的运动情况。