1.一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,其特征在于,包括基底;所述基底的上表面设有金属纳米波导阵列,下表面为受压面;所述金属纳米波导阵列上方设有光纤,所述光纤包括将外界光源发出的入射光导向所述金属纳米波导阵列的第一光纤和吸收所述金属纳米波导阵列的反射光并将所述反射光导向外界光谱仪的第二光纤;所述金属纳米波导阵列在所述入射光的激发下形成表面等离激元效应;所述受压面受到压力发生形变导致所述金属纳米波导阵列之间的间隙大小发生变化,从而使所述反射光的光谱发生变化。
2.根据权利要求1所述的一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,其特征在于,所述金属纳米波导阵列包括设置于所述基底的上表面的若干个脊形凸起,以及覆盖于所述脊形凸起的表面的金属膜。
3.根据权利要求2所述的一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,其特征在于,所述金属膜的材质为金、铝或银。
4.根据权利要求1所述的一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,其特征在于,所述金属纳米波导阵列为圆柱体或长方体的一维或二维阵列。
5.根据权利要求1所述的一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器,其特征在于,所述金属纳米波导阵列之间的间隙小于100nm。
6.一种基于权利要求1所述光学压力传感器的压力检测方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:以不同波长的入射光照射所述金属纳米波导阵列,以光谱仪分别测量不同波长的入射光的反射光谱;反射率最小的入射光即为能够激发所述金属纳米波导阵列表面等离激元效应的入射光;分别记录不同金属纳米波导阵列之间的间隙d对应的最小反射率;
步骤2:基底受压面受到压力P时,通过光谱仪得到不同波长的入射光的反射率,根据步骤1的记录找到最小反射率对应的金属纳米波导阵列之间的间隙d;
步骤3:通过试验或仿真计算得到所述金属纳米波导阵列之间金属膜发生形变时,不同间隙d对应的金属膜的中心挠度y;
步骤4:计算压力P,计算公式如下:
式中E为杨氏模量,ν为泊松比。