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专利号: 2018101685235
申请人: 湖北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全无机钙钛矿阻变存储器,其结构从下至上依次为底电极、阻变层、顶电极,其特征在于所述底电极为透明导电玻璃ITO,即为掺Sn的In2O3薄膜,其厚度为100~300nm,其形状为矩形,其边长为500μm~2cm;所述阻变层材料为CsPbBr3,阻变层厚度为150~200nm,其形状为矩形,其边长为500μm~2cm;所述顶电极为Pt、或Au或W金属,其厚度为50~100nm,其形状为圆或矩形,其直径或边长为50~900μm,致密的CsPbBr3薄膜通过旋涂法制备。

2.一种全无机钙钛矿阻变存储器的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

步骤1.清洗ITO衬底

ITO衬底分别在去离子水,丙酮,酒精中超声40min,烘干ITO,贴上绝缘胶带,在UV仪器中用紫外光照射ITO表面30min;

步骤2.制备全无机CsPbBr3粉末

制备A溶液,将10~30mmol的PbBr2粉末溶解于10%~50%百分比浓度的HBr水溶液中,并在室温下搅拌至PbBr2完全溶解;制备B溶液,将10~60mmol的CsBr粉末溶解在去离子水中,室温下搅拌至CsBr完全溶解;使用注射器将B液快速注入到A液中,注入时间控制在一定范围内;利用甲醇作为清洗液,多次清洗抽滤后获得CsPbBr3粉末,最后将CsPbBr3粉末置于氩气氛围的手套箱中,在适当温度的热台上退火一段时间,去除多余的甲醇,得到纯净干燥的CsPbBr3粉末;

步骤3.制备致密的CsPbBr3多晶薄膜

取0.5~1.4g CsPbBr3粉末溶解在DMSO溶液中,室温下避光搅拌10h~12h后,静置0.5~

2h,然后使用直径为0.22μm过滤器过滤,去除溶液中的大颗粒,获得无色透明的CsPbBr3前驱液;取50~120μL CsPbBr3前驱液旋涂在步骤1中的ITO表面上,旋涂仪转速设置为3000r/min~5000r/min,时间为40~60s,在旋涂至15~25s时滴加200~1000μL反溶剂,使钙钛矿层快速结晶,然后在100~150℃条件下退火10~30min,去除多余溶剂,获得致密的CsPbBr3多晶薄膜;

所述反溶剂为甲苯,或氯苯,或乙醚,或乙酸乙酯;

步骤4.制备顶电极

通过磁控溅射法或真空蒸镀法在步骤3中的CsPbBr3薄膜表面沉积顶电极,其形状为圆或矩形,其直径或边长为50~900μm,其厚度为50~100nm。至此,即制得全无机钙钛矿阻变存储器。