1.一种基于横向二极管的TSV转接板,其特征在于,包括:Si衬底(101);
TSV区(102),设置于所述Si衬底(101)内;
隔离区(103),设置于所述Si衬底(101)内并位于所述TSV区(102)之间;
横向二极管(104),设置于所述Si衬底(101)内且位于所述隔离区(103)形成的横向封闭区域内;
互连线(105),对所述TSV区(102)的第一端面和所述横向二极管(104)进行串行连接。
2.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV区(102)内的材料为多晶硅,所述多晶硅的掺杂浓度为2×1021cm-3,掺杂杂质为磷。
3.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV区(102)和所述隔离区(103)均上下贯通所述Si衬底(101)。
4.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述隔离区(103)内的材料为SiO2或未掺杂多晶硅。
5.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV区(102)的第一端面和所述横向二极管(104)与互连线(105)之间设置有钨插塞。
6.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV区(102)的第二端面上设置有钨插塞和金属凸点(106)。
7.根据权利要求6所述的TSV转接板,其特征在于,所述金属凸点(106)的材料为铜。
8.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV转接板还包括设置于所述Si衬底(101)的上表面和下表面的绝缘层。
9.根据权利要求1所述的TSV转接板,其特征在于,所述TSV区(102)和所述隔离区(103)的深度为40~80μm。