利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2017113305425
申请人: 深圳浚漪科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,包括:提供一金属掩膜版;

在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层或氧化铝层;

对形成纯铝层或氧化铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理。

2.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述铝层或氧化铝层的厚度为1微米至50微米。

3.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述的在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层或氧化铝层包括:采用热浸镀工艺或真空蒸镀工艺对所述金属掩膜进行镀膜加工,使得所述金属掩膜形成所述纯铝层或氧化铝层。

4.根据权利要求2所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述采用热浸镀工艺对所述金属掩膜版进行镀膜加工包括:利用碱性清洗液对所述金属掩膜版进行表面清洗,以去除所述金属掩膜版表面的油污;

通过水对所述金属掩膜版进行清洗,以清除所述金属掩膜版表面残留的碱性清洗液;

利用酸性清洗液对所述金属掩膜版进行表面清洗,以清除所述金属掩膜版表面的氧化物;

通过水对所述金属掩膜版进行清洗,以清除所述金属掩膜版表面残留的酸性清洗液;

将金属掩膜版放入至助镀溶液中,使所述金属掩膜版表面形成一层保护膜;

将金属掩膜版放入至铝液中进行热浸镀,形成所述铝层或氧化铝层。

5.根据权利要求2所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述采用真空蒸镀工艺对所述金属掩膜进行镀膜加工包括:对所述金属掩膜版进行清洁,以去除所述金属掩膜版表面的油污及氧化物;

将金属掩膜版放置于真空腔内,并对所述真空腔抽真空;

对所述金属掩膜版进行加热烘烤,使得所述金属掩膜版达到预定温度;

向真空腔内通人氩气,并将金属掩膜版连接至负高压电源,利用氩离子轰击金属掩膜版;

利用蒸发源蒸发铝材料使其熔化并蒸发,蒸发的铝离子沉积在金属掩膜版上形成所述纯铝层或氧化铝层;

将金属掩膜版冷却。

6.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述对形成纯铝层或氧化铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理包括:利用有机溶剂对所述金属掩膜版表面进行脱脂处理;

采用水对金属掩膜版进行清洗;

将所述金属掩膜版置于硫酸溶液中,以硫酸溶液作为阳极氧化液,以金属掩膜版表面的纯铝层或氧化铝层作为阳极材料,对所述金属掩膜版进行阳极氧化处理;

对金属掩膜版进行封闭处理。