1.一种柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,包括:提供一金属掩膜版;
在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层或氧化铝层;
对形成纯铝层或氧化铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理。
2.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述铝层或氧化铝层的厚度为1微米至50微米。
3.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述的在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层或氧化铝层包括:采用热浸镀工艺或真空蒸镀工艺对所述金属掩膜进行镀膜加工,使得所述金属掩膜形成所述纯铝层或氧化铝层。
4.根据权利要求2所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述采用热浸镀工艺对所述金属掩膜版进行镀膜加工包括:利用碱性清洗液对所述金属掩膜版进行表面清洗,以去除所述金属掩膜版表面的油污;
通过水对所述金属掩膜版进行清洗,以清除所述金属掩膜版表面残留的碱性清洗液;
利用酸性清洗液对所述金属掩膜版进行表面清洗,以清除所述金属掩膜版表面的氧化物;
通过水对所述金属掩膜版进行清洗,以清除所述金属掩膜版表面残留的酸性清洗液;
将金属掩膜版放入至助镀溶液中,使所述金属掩膜版表面形成一层保护膜;
将金属掩膜版放入至铝液中进行热浸镀,形成所述铝层或氧化铝层。
5.根据权利要求2所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述采用真空蒸镀工艺对所述金属掩膜进行镀膜加工包括:对所述金属掩膜版进行清洁,以去除所述金属掩膜版表面的油污及氧化物;
将金属掩膜版放置于真空腔内,并对所述真空腔抽真空;
对所述金属掩膜版进行加热烘烤,使得所述金属掩膜版达到预定温度;
向真空腔内通人氩气,并将金属掩膜版连接至负高压电源,利用氩离子轰击金属掩膜版;
利用蒸发源蒸发铝材料使其熔化并蒸发,蒸发的铝离子沉积在金属掩膜版上形成所述纯铝层或氧化铝层;
将金属掩膜版冷却。
6.根据权利要求1所述的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法,其特征在于,所述对形成纯铝层或氧化铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理包括:利用有机溶剂对所述金属掩膜版表面进行脱脂处理;
采用水对金属掩膜版进行清洗;
将所述金属掩膜版置于硫酸溶液中,以硫酸溶液作为阳极氧化液,以金属掩膜版表面的纯铝层或氧化铝层作为阳极材料,对所述金属掩膜版进行阳极氧化处理;
对金属掩膜版进行封闭处理。