1.一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,包括仅上端面成开口状的谐振腔(4)、位于谐振腔(4)上方的上盖板(3)、用于控制谐振腔(4)上下移动的驱动结构,所述上盖板(3)通过吊装结构吊装在真空室(1)的内顶部,所述上盖板(3)的下表面上设置有用于对谐振腔(4)移动限位的限位装置(7);所述限位装置(7)的水平截面成圆形,其与上盖板(3)的连接处的直径与谐振腔(4)直径相等,且自上盖板(3)的连接端至另一端其直径逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述吊装结构包括设置在上盖板(3)两端的吊装支架(2),所述吊装支架两端分别通过螺栓与真空室(1)、上盖板(3)连接。
3.根据权利要求1所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述谐振腔(4)的下部设置有用于放置热电偶的热电偶孔(5)。
4.根据权利要求3所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述热电偶孔与谐振腔(4)的中心轴垂直。
5.根据权利要求1所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述谐振腔(4)、上盖板(3)均采用钽制作而成,且谐振腔(4)内表面和上盖板(3)的下表面均镀有一层铱。
6.根据权利要求1所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述驱动结构包括液压杆(6)和用于驱动液压杆(6)上下移动的液压站(8)。
7.根据权利要求6所述的一种吊装式谐振腔装置,其特征在于,所述吊装结构和液压杆(6)均采用铁钴镍高温合金制成。