1.基于二维自动平台的气体平面静压节流器微流场参数扫描仪，包括：调节手柄(1)、上平板(2)、紧锁螺母(3)、滚珠丝杠(4)、支撑杆(5)、丝母套筒(6)、定位螺栓(7)、平面节流器(8)、工作平台(9)、温度压力一体化传感器(10、下一维导轨(11、下步进电机(12)、上步进电机(13)、下平板(14)、底座滑轮(15)、底座支撑架(16)、主控装置(17)、固定支架(18)、上一维导轨(19)、调节套筒(20、定位套筒(21)、位移传感器(22)、连接杆(23)；

所述的平板有上平板(2)和下平板(14)，所述的平板间通过所述的支撑杆(5)连接，并用所述的紧锁螺母(3进行固定，所述的底座支撑架(16)安装在所述的下平板(14)下方，所述的底座滑轮(15)安装在所述的下平板(14)下方；

所述的丝母套筒(6)、所述的定位套筒(21)、所述的连接杆(23)以及所述的定位螺栓(7)构成十字固定环，并安装在所述的支撑杆(5)上，位置在所述的上平板(2)和所述的下平板(14)之间，所述的滚珠丝杠(4)穿过所述的上平板(2)和十字固定环，所述的调节手柄(1)安装在所述的滚珠丝杠(4)的顶端，所述的平面节流器(8)安装在所述的丝母套筒(6)的下端；

所述的一维导轨包括上一维导轨(19)和下一维导轨(11)，所述的下一维导轨(11)固定在所述的下平板(14)上，所述的步进电机包括上步进电机(13)和下步进电机(12)，所述的下步进电机(1)安装在所述的下一维导轨(11)侧方，所述的上一维导轨(19)安装在所述的下一维导轨(11)的上方，所述的上步进电机(13)安装在所述的上一维导轨(19)的侧方，所述的工作平台(9)安装在所述的上一维导轨上方；

所述的主控装置(17)包括电源指示灯、触摸显示屏、电路板、电源接口以及开关按键，所述的温度压力一体化传感器(10)安装在所述的工作平台(9)下方，所述的固定支架(18)安装在所述的下平板(14)上方，所述的位移传感器(22)通过所述的固定支架(18)以及所述的调节套筒(20)进行定位，并紧贴在所述的平面节流器(8)上方，所述的上步进电机(13)、所述的下步进电机(12)、所述的温度压力一体化传感器(10)和所述的位移传感器(22)连接到所述的主控装置(17)上。

2.使用如权利要求1所示的装置，基于二维自动平台的气体平面静压节流器微流场参数扫描仪，其特征在于：按下开关按键，硬件电路系统开始运行，所述的电源指示灯闪亮，按下触摸显示屏上的开始触摸键，温度压力一体化传感器(10)、位移传感器(22)和步进电机(12、13)的数据会实时传输到主控装置(17)的触摸显示屏界面；松开定位螺栓(7)，转动调节手轮(1)，调节平面节流器(8)与工作平台(9)之间的距离(气膜厚度)，观察触摸显示屏界面的位移传感器(22)数据，调节到需要的气膜厚度，停止转动调节手轮(1)，拧紧定位螺栓(7)；按下触摸显示屏上的复位触摸键，主控装置(17)调用导轨复位程序，将二维导轨工作平台(9)上的温度压力一体化传感器(10)移动到采集原点；按下触摸显示屏上的采集触摸键，主控装置(17)调用导轨控制和数据采集软件，同时控制导轨(11、19)移动和数据采集，并将数据实时传输到触摸显示屏进行显示，调用数据保存软件将数据保存到SD卡中；数据采集完毕，按下主控装置(17)上的开关按钮，系统关闭。

3.根据权利要求2所述的基于二维自动平台的气体平面静压节流器微流场参数扫描仪，其特征在于：所述的导轨复位程序包括如下处理步骤：第一步，第一次开机运行系统时，调节导轨位置，到达数据采集原点；

第二步，设置采集原点的位置为(0，0)，将数据保存到主控装置电路板上的EEPROM芯片上；

第三步，二维导轨每移动一段距离，计算与原点的差值，将差值保存到EEPROM芯片上，并覆盖原数据；

第四步，覆盖原数据的同时，并将导轨移动方向保存到EEPROM芯片上；

第五步，每次开机运行程序，主控装置自动读取二维导轨的移动距离和移动方向；

第六步，按下复位触摸键，主控装置则反向执行二维导轨的移动距离，使导轨移动到数据采集原点。

4.根据权利要求2所述的基于二维自动平台的气体平面静压节流器微流场参数扫描仪，其特征在于：所述的导轨控制和数据采集程序包括如下处理步骤：第一步：按下触摸显示屏上的采集触摸键，主控装置采集温度压力一体化传感器输出的温度和压力数据；

第二步，触摸显示屏实时显示温度和压力信号，主控装置计算固定时间内信号的变化量，判断信号是否超出阈值；

第三步，信号变化量超出阈值，则信号处于未稳定状态，继续采集信号；

第四步，信号处于稳定状态，主控装置发送导轨移动信号，导轨移动，并将移动的距离保存到EEPROM芯片中；

第五步，导轨移动完毕，发送数据采集信号，主控装置继续采集数据；

第六步，主控装置每移动一段距离，判断一维导轨是否移动到边界，若移动到边界，则另一位导轨移动到下一列数据采集点，一位导轨逆向采集数据；

第七步，当上下一维导轨军移动到边界，发送边界信号，主控装置停止采集数据。