1.一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)在片层状的多晶硅片表面喷涂碳化硅粉末,形成高度为5-10μm的凸起结构;
(2)在步骤(1)的多晶硅表面沉积形成纳米氮化锡薄膜;
(3)施加包含四氟化碳、氮气和氩气的气体混合物形成的高密度等离子体蚀刻步骤(2)中的多晶硅表面,即得所述的氮化锡/硅负极材料。
2.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:所述的碳化硅粉末在多晶硅表面的覆盖率为30-50%。
3.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,通过喷砂机构对多晶硅片表面实施喷涂碳化硅粉末。
4.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:所述的碳化硅粉末的粒径为1-5μm。
5.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:所述的纳米氮化锡薄膜的厚度为1-3μm。
6.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:等离子体的气体混合物中,四氟化碳、氮气和氩气的气体流速比为1:(1.5-3):(6-8.5)。
7.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:所述的等离子体的电子密度为5×1010~1×1011电子/cm3。
8.一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料,其特征在于:所述的负极材料由权利要求1-
7任意一项所述的制备方法制备得到。
9.根据权利要求8所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料,其特征在于:所述的负极材料的首次放电比容量大于1358mAh/g,循环50次后的容量保持率大于95%。