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专利号: 2017110015929
申请人: 浙江理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-09-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种相位生成载波反正切解调中非线性误差的实时计算方法,其特征在于:(1)激光干涉仪产生的干涉条纹同时被两个光电探测器探测,且两个光电探测器的探测中心对应于干涉条纹中的位置相距四分之一个周期的干涉条纹,使得两光电探测器对应的解调相位差为90°;

(2)分别对两个光电探测器探测到的干涉信号进行PGC解调获得各自的解调相位值,再对解调相位值作差获得相位差,相位差为一个固定相位和一个相位周期为π的非线性项的叠加;非线性项具体是一个由ν≠1引起的非线性项 其中:ν为正交信号幅值的比例系数,t表示时间,δ为两探测中心点的位置间隔引起的相位差;

表示待测相位;

(3)通过移动激光干涉仪中的测量镜,使激光干涉仪的待测相位连续变化,在测量镜移动过程中进行步骤2)实时检测获得相位差的非线性项的峰峰值,根据峰峰值计算解调相位对应的非线性误差的大小。

2.根据权利要求1所述的一种相位生成载波反正切解调中非线性误差的实时计算方法,其特征在于:所述的激光干涉仪中测量镜的移动引起的激光干涉仪的待测相位改变大于π。

3.根据权利要求1所述的一种相位生成载波反正切解调中非线性误差的实时计算方法,其特征在于:所述根据峰峰值计算解调相位对应的非线性误差的大小,具体采用以下公式:非线性误差为 且当 时非线性误差在达到最大,k=

0,1,2…,最大值为±α/4rad;

其中,α表示峰峰值。