1.基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于：包括蓄水池系统、定量泵-蓄能器-卸荷阀恒压能源系统、空化水射流发生系统、高压淹没加工系统，其特征在于，所述蓄水池系统由蓄水池(1)、冷水机组(3)和排水阀(4)组成；蓄水池(1)右下方设计有进水口与冷水机组(3)连通，蓄水池(1)左下方设有排水阀(4)，且蓄水池(1)上方分别设置进水管和出水管；

所述定量泵-蓄能器-卸荷阀恒压能源系统包括第一过滤器(5)、高压柱塞泵(6)、单向阀(7)、电磁溢流阀(10)和卸荷阀(11)，所述蓄水池(1)出水管上依次设置第一过滤器(5)、高压柱塞泵(6)、单向阀(7)，所述高压柱塞泵(6)与单向阀(7)之间的管路上设置分支管路连通蓄水池(1)，所述分支管路上设置有电磁溢流阀(10)和卸荷阀(11)；

所述空化水射流发生系统包括第一调节阀(12)、温度传感器(13)、第一流量计(14)、第一压力表(15)、空化喷嘴(16)、空化水射流导向装置(17)，空化喷嘴(16)通过高压软管与单向阀(7)连接，单向阀(7)与空化喷嘴(16)之间依次设置第一调节阀(12)、温度传感器(13)、第一流量计(14)、第一压力表(15)，空化喷嘴(16)连接在空化水射流导向装置(17)上；

所述高压淹没加工系统由高压容器(18)、增压阀(19)、排气阀(20)、第二压力表(21)、进水阀(22)、三坐标工作台(23)、冲压模具或刻蚀掩模(24)、定位夹紧装置(26)、高压空气压缩机(27)组成；三坐标工作台(23)安装在高压容器(18)内部底面上，定位夹紧装置(26)安装在三坐标工作台(23)上，空化喷嘴(16)、空化水射流导向装置(17)均位于高压容器(18)内部，高压容器(18)上还分别设置增压阀(19)、排气阀(20)、第二压力表(21)、进水阀(22)，增压阀(19)与高压空气压缩机(27)连接；进水阀(22)能够与进水管相连。

2.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，还包括循环回路系统，高压容器(18)底部设置排水口通过高压软管与蓄水池(1)相连，高压容器(18)与蓄水池(1)之间依次设置第二过滤器(28)、第二调节阀(29)、第二流量计(30)，构成循环回路系统。

3.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，所述定量泵-蓄能器-卸荷阀恒压能源系统还包括蓄能器(8)、压力继电器(9)，所述单向阀(7)下游的管路上设置一个分支管路与蓄能器(8)连接，蓄能器(8)下端安装压力继电器(9)。

4.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，空化水射流发生系统的高压软管与高压容器(18)之间通过法兰密封连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，循环回路系统高压软管与高压容器(18)的排水口以及蓄水池(1)的进水口采用高压软管接头连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，三坐标工作台(23)位于空化喷嘴(16)正下方。

7.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，高压容器(18)由具有高透光性PMMA材料制成，厚度≥4mm，可承受≥1.5MPa的水压。

8.根据权利要求1所述的一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置，其特征在于，蓄水池(1)中设置两个竖直的多孔隔板(2)，将蓄水池(1)分割成三个独立的空间。

9.一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀的方法，其特征在于，包含以下步骤：

(1)根据所要成形和刻蚀加工的形状，设计相应的冲压模具和刻蚀掩模(25)，并选择相应的空化水射流导向装置(17)；

(2)蓄水池(1)中注水至距顶端10cm左右使水源充足，避免气体进入空化水射流发生系统，高压容器(18)通过进水阀(22)注水且水面高出空化喷嘴(16)顶端d1＝2～4cm，并通过高压空气压缩机(27)加压使得高压容器(18)内的压力P1＝1.2MPa；

(3)设置压力继电器(9)的值为20.0～30.0MPa，通过调节第一调节阀(12)并观察第一压力表(15)使空化喷嘴进口压力P2＝20.0～30.0MPa，通过调节调节阀(20)并观察第二压力表(21)调节高压容器(18)内的压力，即空化水射流围压P3＝0.3～1.0MPa以获得符合加工条件的高压淹没空化水射流强度；

(4)设置冷水机组(3)出水温度为15～20℃，保证水温能产生较大强度的空化水射流；

(5)改变三坐标工作台(23)与空化喷嘴(16)之间的相对距离d2，间接改变微零件待加工表面与空化喷嘴射流出口处的相对距离d3，使空泡溃灭发生在待加工微零件表面附近；高压淹没空化水射流中大量空泡溃灭时会产生约为4×104～6×104MPa的高压冲击波、100～

400m/s的高速微射流、5000±200K的局部高温对微零件产生冲压或刻蚀加工效果。

10.根据权利要求9所述的基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀的方法，其特征在于，所述冲压模具和刻蚀掩模(24)根据需要加工的微零件具体加工，Ra≤0.6μm，材料选用模具钢；实现冲压的参数为：设置压力继电器(9)的值为20.0～25.0MPa，P2＝20.0～

25.0MPa，P3＝0.7～1.0MPa，加工时间约为10min；实现刻蚀的参数为：设置压力继电器(9)的值为25.0～30.0MPa，P2＝25.0～30.0MPa，P3＝0.3～0.5MPa，加工时间约为20min。