1.一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收装置，其特征在于，包括物理吸收塔（2）、与物理吸收塔（2）连通的解吸塔（7）、设置在物理吸收塔（2）与解吸塔（7）之间的储液罐（5）及与解吸塔（7）连通的储气罐（10），所述物理吸收塔（2）下部气相进口（2B）通过管道连接设置引风机（1），所述引风机（1）通过管道接入残留熏蒸剂硫酰氟气源；所述储液罐（5）内装有生物柴油吸收剂，储液罐（5）底部出口（5A）通过管道连接设置进料泵（3），进料泵（3）通过管道与物理吸收塔（2）上部液相进口（2D）连接，从而将生物柴油吸收剂输送至物理吸收塔（2）内进行吸收；所述物理吸收塔（2）顶部的气相出口（2C）通过管道与外界大气连通，所述物理吸收塔（2）底部液相出口（2A）通过管道连接设置输送泵（4），所述输送泵（4）通过管道与解吸塔（7）上部的液体进口（7B）连接，所述解吸塔（7）顶部的气体出口（7C）通过管道连接设置真空泵（8），所述真空泵（8）通过管道与储气罐（10）顶部的进气口（10A）连接，构成硫酰氟回收管路；所述真空泵（8）与储气罐（10）之间设有气体压缩机（9），储气罐（10）顶部出气口（10B）与熏蒸管路相连；所述解吸塔（7）与储液罐（5）之间设有循环泵（6），并通过循环泵（6）将解吸塔（7）底部的液体出口（7A）与储液罐（5）上部进口（5B）连通。

2.根据权利要求1所述的一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收装置，其特征在于，所述物理吸收塔（2）及解吸塔（7）为填料塔、板式塔、喷淋塔或超重力旋转床。

3.根据权利要求1-2任一所述的一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收工艺，其特征在于，包括如下步骤：

1）硫酰氟的吸收净化：引风机（1）将残留熏蒸剂硫酰氟由物理吸收塔（2）下部气相进口（2B）输送至物理吸收塔（2）内，同时进料泵（3）将储液罐（5）中的生物柴油吸收剂由物理吸收塔（2）上部液相进口（2D）输送至物理吸收塔（2）内对硫酰氟进行吸收净化，净化气体由物理吸收塔（2）顶部气相出口（2C）排放大气；

2）硫酰氟的回收：步骤1）中物理吸收塔（2）内富含硫酰氟的生物柴油吸收剂由物理吸收塔（2）液相出口（2A）流出，经输送泵（4）输送，由解吸塔（7）液体进口（7B）进入解吸塔（7）内进行真空解吸再生；经真空泵（8）输送，解吸出的高浓度硫酰氟气体由解吸塔（7）气体出口（7C）排出，经气体压缩机（9）压缩后储存到储气罐（10）中；

3）吸收剂的循环：解吸塔（7）内再生后的生物柴油吸收剂由解吸塔（7）液体出口（7A）流出，经循环泵（6）输送，回到储液罐（5）再循环使用。

4.根据权利要求3所述的一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收工艺，其特征在于，所述生物柴油吸收剂为脂肪酸甲酯，或者脂肪酸乙酯，或者脂肪酸甲酯、脂肪酸乙酯与抗氧剂的复配物。

5.根据权利要求3所述的一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收工艺，其特征在于，所述步骤1）中硫酰氟物理吸收塔（2）内吸收过程为常温、常压的条件下进行。

6.根据权利要求3所述的一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收工艺，其特征在于，所述步骤2）内解吸塔（7）内解吸过程中的操作温度为常温，操作绝压小于10 kPa。