1.一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，它包括以下步骤：

1)在物理版图中，根据工艺特点和设计需求提取需要参数化的物理和几何参数，并针对需要参数化的物理和几何参数进行各自对应的取值；

2)新建三维电磁场仿真模型，并在新建三维电磁场仿真模型中根据需要参数化的物理和几何参数及各自对应的取值创建参数化变量表；

3)在新建三维电磁场仿真模型中，采用参数化变量表创建三维电磁场参数化仿真模型；

4)在新建三维电磁场仿真模型中，针对三维电磁场参数化仿真模型中每一组参数化变量的取值状态创建一个参数扫描方案，并且设置三维电磁场参数化仿真模型的优化目标值和优化方法；

5)在新建三维电磁场仿真模型中，采用优化方法针对三维电磁场仿真模型中的所有参数扫描方案进行优化仿真，得到每一个参数扫描方案对应的仿真结果，并从仿真结果中根据优化目标值确认最优参数扫描方案；

6)在物理版图中，根据最优参数扫描方案中的参数化变量的值修改物理和几何参数，从而优化物理版图。

2.根据权利要求1所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤1)中，物理版图包括集成电路模拟芯片的物理版图、集成电路芯片封装的物理版图和集成电路系统互联的物理版图。

3.根据权利要求1所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤1)包括以下内容：

11)选取物理版图中需要参数化的各种材料的物理参数；其中，各种材料的物理参数包括相对磁导率，相对介电常数，电导率，介质损耗因数，磁损耗因数，热导率和各向异性特征信息；

12)选取物理版图中需要参数化的工艺结构层的几何参数；其中，工艺结构层的几何参数为物理版图工艺结构层中各层的高度和厚度信息；

13)选取物理版图中需要参数化的逻辑设计对象的几何参数；其中，逻辑设计对象的几何参数包括：

131)信号、时钟，数据、地址和电源各种连线和铜皮对象的长度和宽度信息；

132)电容、电感、电阻、巴伦和变压器无源器件的几何参数，包括线的宽度信息，电感螺旋线的圈数；

133)键合线、焊盘和过孔多层连接对象的几何参数，该对象的几何参数包括截面形状，长宽和半径大小；

134)BGA连接球及其它对象的几何尺寸参数，包括上下和中间平面的半径大小，高度。

4.根据权利要求3所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤2)包括以下内容：

21)针对不同的几何或者物理参数创建不同的参数化变量；

22)对于相同的几何或者物理参数，针对其不同的取值创建不同的参数化变量；

23)根据步骤21)和步骤22)中各自获取的参数化变量创建参数化变量表。

5.根据权利要求4所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤3)中的三维电磁场参数化仿真模型包括材料模型、工艺层模型、逻辑设计对象模型、空气盒模型、仿真频率和频率变化范围，具体包括以下内容：

31)针对物理版图的各种材料及其所包含的各项参数，根据所创建的三维电磁场仿真模型的参数表中参数化变量来创建参数表达式，并使用该参数表达式创建该材料模型；

32)针对物理版图的工艺结构层中所包含的层对象及其所包含的各项几何参数，高度和厚度信息，根据所创建的三维电磁场仿真模型的参数表中参数化变量来创建参数表达式，并使用该参数表达式来创建该工艺层模型；

33)针对物理版图的逻辑设计对象及其所包含的各项几何参数，根据所创建的三维电磁场仿真模型的参数表中参数化变量来创建参数表达式，并使用该参数表达式来创建该逻辑设计对象模型；

34)创建三维电磁场仿真模型的空气盒的大小参数化变量，并使用该变量来创建参数表达式，并使用该参数表达式来创建空气盒模型；

35)创建仿真求解器所需要的频率参数化变量，并使用该变量来创建参数表达式，并使用该参数表达式来设置仿真频率；

36)创建仿真求解器所需要的频率变化范围，该频率变化范围包括起始变量、终止变量和步进变量。

6.根据权利要求5所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤4)包括以下内容：

41)为三维电磁场参数化仿真模型的参数化变量表中每一组参数化变量的取值状态创建一个参数扫描方案；

42)设置三维电磁场参数化仿真模型的优化目标值和优化方法。

7.根据权利要求6所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤5)包括以下内容：

51)在新建三维电磁场仿真模型中，采用优化方法针对三维电磁场仿真模型中的所有参数扫描方案进行优化仿真，得到每一个参数扫描方案对应的仿真结果；

52)根据优化目标值在所有参数扫描方案的仿真结果中确定最优参数扫描方案；

53)确认最优参数扫描方案中的参数化变量表中各个变量的值。

8.根据权利要求7所述的一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，其特征在于：所述步骤6)包括以下内容：

61)根据仿真最优参数扫描方案的变量取值，修改物理版图中的各种材料的物理参数；

62)根据仿真最优参数扫描方案的变量取值，修改物理版图中的工艺结构层的几何参数；

63)根据仿真最优参数扫描方案的变量取值，修改物理版图中的逻辑设计对象的几何参数。