利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2016112686887
申请人: 深圳迈辽技术转移中心有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-15
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂由以下组分组成:质量百分比含量8~12%的盐酸(HCl),质量百分比含量3-5%的硝酸,质量百分比含量

2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分含量0.1~0.2%的氯化钙,质量百分比含量1~2%的羟丙基甲基纤维素(HPMC),质量百分比含量0.5~1%的结冷胶,及余量的水。

2.如权利要求1所述的TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于以如下方法配制,

1)将处方量盐酸、硝酸与氢氟酸混合,并加入适量水稀释后,加入处方量的氯化钙溶解,

2)将处方量的羟丙基甲基纤维素、结冷胶溶于适量水中至完全溶解;

3)将步骤1)得到的混合液缓慢加入步骤2)的混合液中,补足余量的水后搅拌至混合均匀。