1.一种基于柔性并联机构的微振动器，其特征在于，包括4个具有对称放置的微振动支链和微振动平台组成，所述微振动支链由4对正圆型柔性铰链组合、1对直梁型柔性铰链组合、1对直梁结构和2组杆件组成，能产生单一方向的微幅振动；所述微振动平台由2对梁板结构和振子组成，能传递和导向2个垂直方向的微幅振动。

2.根据权利要求1所述的微振动器，其特征在于，4个微振动支链以十字架形式对称布置，第一微振动支链产生沿X正方向的微幅振动，第三微振动支链产生沿X负方向的微幅振动，第二微振动支链产生沿Y负方向的微幅振动，第四微振动支链产生Y正方向的微幅振动。

3.根据权利要求1所述的2维微振动器，其特征在于，采用3对正圆型柔性铰链组合将微振动支链输入端的振动传递至第一组杆件；采用1对正圆型柔性铰链组合和1对直梁型柔性铰链组合将第一组杆件的振动传递至第二组杆件；采用1对直梁结构将第二组杆件的振动传递至微振动支链输出端子，使输出端子产生单一方向的微幅振动。

4.根据权利要求1所述的2维微振动器，其特征在于，采用梁板结构传递由微振动支链产生的振动。

5.根据权利要求1所述的2维微振动器，其特征在于，第一梁板和第三梁板组成第一对梁板导向结构，传递Y方向的振动；第二梁板和第四梁板组成第二对梁板导向结构，传递X方向的振动；第一对梁板结构与第二对梁板结构垂直放置。

6.根据权利要求1所述的2维微振动器，其特征在于，振子采用圆柱形结构，圆柱形振子放置于2对梁板结构形成的中心位置。