1.一种基于柔性并联机构的微振动器，其特征在于，包括4个具有对称放置的微振动支链和微振动平台组成，所述微振动支链由4对正圆型柔性铰链组合、1对直梁型柔性铰链组合、1对直梁结构和2组杆件组成，能产生单一方向的微幅振动；所述微振动平台由2对梁板结构和振子组成，能传递和导向2个垂直方向的微幅振动；

由第一正圆型柔性铰链和第八正圆型柔性铰链组成第一对正圆型柔性铰链组合，由第二正圆型柔性铰链和第七正圆型柔性铰链组成第二对正圆型柔性铰链组合，第一对正圆型柔性铰链组合和第二对正圆型柔性铰链组合能将微振动支链输入端的振动位移传递至由第一杆件和第四杆件组成的第一组杆件，使得第一组杆件产生沿y′方向的振动；由第三正圆型柔性铰链和第六正圆型柔性铰链组成第三对正圆型柔性铰链组合，第一对、第二对和第三对正圆型柔性铰链组合形成第一级杠杆结构；由第四正圆型柔性铰链和第五正圆型柔性铰链组成第四对正圆型柔性铰链组合，由第一直梁型柔性铰链和第二直梁型柔性铰链组成第一对直梁型柔性铰链组合，第四对正圆型柔性铰链组合、第一对直梁型柔性铰链组合将第一杆件和第四杆件的振动位移传递至由第二杆件和第三杆件组成的第二组杆件，并形成第二级杠杆结构；由第一直梁和第二直梁组成1对板梁结构，所述板梁结构形成“八字形”位置放置，以支撑振动支链输出端子，能将第二组杆件产生的振动传递至微振动支链输出端子，该输出端子能产生沿y′单一方向的振动；

采用3对正圆型柔性铰链组合将微振动支链输入端的振动传递至第一组杆件；采用1对正圆型柔性铰链组合和1对直梁型柔性铰链组合将第一组杆件的振动传递至第二组杆件；

采用1对直梁结构将第二组杆件的振动传递至微振动支链输出端子，使输出端子产生单一方向的微幅振动；

第一梁板和第三梁板组成第一对梁板导向结构，传递Y方向的振动；第二梁板和第四梁板组成第二对梁板导向结构，传递X方向的振动；第一对梁板结构与第二对梁板结构垂直放置。

2.根据权利要求1所述的微振动器，其特征在于，4个微振动支链以十字架形式对称布置，第一微振动支链产生沿X正方向的微幅振动，第三微振动支链产生沿X负方向的微幅振动，第二微振动支链产生沿Y负方向的微幅振动，第四微振动支链产生Y正方向的微幅振动。

3.根据权利要求1所述的微振动器，其特征在于，采用梁板结构传递由微振动支链产生的振动。

4.根据权利要求1所述的微振动器，其特征在于，振子采用圆柱形结构，圆柱形振子放置于2对梁板结构形成的中心位置。