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专利号: 2016108514110
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种Sb70Se30/SiO2多层纳米复合相变薄膜材料在制备相变存储器中的应用,其包括Sb70Se30薄膜材料和SiO2薄膜材料,二者通过交替叠加形成复合结构,结构通式为[(Sb70Se30)(a)/(SiO2)(b)]n,其中:a表示单层Sb70Se30薄膜材料的厚度,单位为nm,并且1≤a≤10;b表示单层SiO2薄膜的厚度,单位为nm,并且1≤b≤5;n表示单层Sb70Se30薄膜材料和单层SiO2薄膜材料的交替周期数,并且n为任一正整数。

2.根据权利要求1所述的应用,其特征在于,所述Sb70Se30/SiO2多层纳米复合相变薄膜材料的制备方法为通过磁控溅射法将Sb70Se30薄膜材料和SiO2薄膜材料进行纳米量级复合,形成多层纳米复合相变薄膜材料。

3.根据权利要求2所述的应用,其特征在于:所述磁控溅射法采用的衬底为SiO2/Si(100)基片;溅射靶材为Sb70Se30和SiO2;溅射气体为氩气。

4.根据权利要求3所述的应用,其特征在于:所述溅射靶材为原子百分比纯度达到

99.999%的Sb70Se30和原子百分比纯度达到99.999%的SiO2;所述溅射气体为体积百分比纯度达到99.999%的氩气。

5.根据权利要求3所述的应用,其特征在于:所述磁控溅射法的本底真空度不大于1×

10-4Pa;溅射功率为25~35W;氩气气体流量为25~35sccm;溅射气压为0.15~0.35Pa。

6.根据权利要求5所述的应用,其特征在于:所述磁控溅射法的溅射功率为30W;氩气气体流量为30sccm;溅射气压为0.3Pa。

7.根据权利要求2所述的应用,其特征在于:所述磁控溅射法具体包括如下步骤:

1)清洗并烘干SiO2/Si(100)基片;

2)装好溅射靶材;设定溅射功率、溅射氩气流量及溅射气压;

3)采用射频溅射程序制备Sb70Se30/SiO2多层纳米复合相变薄膜材料。

8.根据权利要求7所述的应用,其特征在于:步骤3)中所述射频溅射程序包括如下步骤:a)将空基托旋转到Sb70Se30靶位,打开Sb70Se30靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对Sb70Se30靶材表面进行溅射,清洁Sb70Se30靶材表面;

b)Sb70Se30靶材表面清洁完成后,关闭Sb70Se30靶上的射频电源,将空基托旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对SiO2靶材表面进行溅射,清洁SiO2靶材表面;

c)SiO2靶材表面清洁完成后,将待溅射的SiO2/Si(100)基片旋转到Sb70Se30靶位,打开Sb70Se30靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射Sb70Se30薄膜;

d)Sb70Se30薄膜溅射完成后,关闭Sb70Se30靶上的射频电源,将已经溅射了Sb70Se30薄膜的基片旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射SiO2薄膜;

e)重复步骤c)和d)中溅射Sb70Se30薄膜和SiO2薄膜的操作,即在SiO2/Si(100)基片上制备出Sb70Se30/SiO2多层纳米复合相变薄膜材料。