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专利号: 2016107888465
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种氮掺杂改性的相变薄膜材料,其特征在于:由Zn、Sb、N三种元素组成,其化学组成通式为N(x Zn15Sb85)1-x,其中x=0.4812。

2.一种如权利要求1所述的氮掺杂改性的相变薄膜材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

①基片的准备,将基片洗净烘干待用;

②磁控溅射的准备,在磁控溅射镀膜系统中,将步骤①准备的待溅射的基片放置在基托上,将Zn15Sb85合金靶材安装在磁控射频溅射靶中,并将磁控溅射镀膜系统的溅射腔室进行抽真空;然后向溅射腔室通入高纯氩气和高纯氮气至溅射腔室内气压达到0.2Pa;

③N(x Zn15Sb85)1-x薄膜的制备,调节向溅射腔室通入的高纯氩气的流量为24 sccm,高纯氮气流量为6sccm,溅射气压为0.2Pa;设定溅射功率20W;首先清洁Zn15Sb85靶材表面,待Zn15Sb85靶材表面清洁完成后,关闭Zn15Sb85靶上所施加的射频电源,将待溅射基片旋转到Zn15Sb85靶位,开启Zn15Sb85靶位射频电源,于室温下溅射20s后得到掺氮改性的相变薄膜材料。

3.根据权利要求2所述的氮掺杂改性的相变薄膜材料的制备方法,其特征在于:步骤①中进行基片清洗烘干操作时,先在超声清洗机中将基片在丙酮中超声清洗3~5分钟,洗毕取出用去离子水冲洗;接着在超声清洗机中将基片在乙醇中超声清洗3~5分钟,洗毕取出用去离子水冲洗,冲洗干净后用高纯N2吹干表面和背面;吹干后的基片送入烘箱中烘干水汽,完成基片的准备。

4.根据权利要求2所述的氮掺杂改性的相变薄膜材料的制备方法,其特征在于:步骤③中清洁Zn15Sb85靶材表面时,将空基托旋转到Zn15Sb85靶位,打开Zn15Sb85靶上所施加的射频电源,开始对Zn15Sb85靶材进行溅射以清洁Zn15Sb85靶材表面,溅射时间为100s。