利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2016103687931
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于石墨烯材料的风速测试器,其特征在于:所述风速测试器包括石墨烯薄膜与聚合物双层结构、三维共形石墨烯,所述双层结构在石墨烯薄膜面设有一个电极,所述三维共形石墨烯设有另一个电极,所述双层结构与三维共形石墨烯以聚合物为接触面叠合,电极之间由导线连接,所述导线上接有电源及仪表。

2.根据权利要求1所述一种基于石墨烯材料的风速测试器,其特征在于,所述三维共形石墨烯采用具有三维光栅结构的石英基底表面沉积石墨烯而成。

3.根据权利要求1所述一种基于石墨烯材料的风速测试器,其特征在于,所述聚合物为PDMS。

4.权利要求1~3任一项所述基于石墨烯材料的风速测试器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)制备三维共形石墨烯:在石英基底表面制备具有周期性的光栅结构,然后采用管式化学气相沉积法在光栅结构表面沉积石墨烯薄膜,得到三维共形石墨烯;

2)制备石墨烯薄膜与聚合物双层结构:在金属基底上采用化学气相沉积法制备石墨烯薄膜,采用聚合物转移石墨烯形成石墨烯薄膜与聚合物双层结构;

3)制备电极:将三维共形石墨烯和金属导线一端连接作为电极,将石墨烯薄膜和金属导线另一端连接作为电极,然后将双层结构与三维共形石墨烯以聚合物为接触面叠合。

5.根据权利要求4所述基于石墨烯材料的风速测试器的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括步骤4):将所述测试器与电源及仪表连接,逐渐改变吹风速度进行传感特性的测试。

6.根据权利要求4所述基于石墨烯材料的风速测试器的制备方法,其特征在于,步骤2)所述金属基底为铜箔或镍箔。

7.根据权利要求4所述基于石墨烯材料的风速测试器的制备方法,其特征在于,制作电极采用银浆刷涂、热蒸镀、直流磁共溅射、丝网印刷或光刻方法。