1.一种三轴运动平台的高精度控制方法,其特征在于,包括:
步骤1)发射激光控制同时发出三条激光束到被测物体表面,所述三条激光束包括第一激光束,第二激光束,第三激光束;
步骤2)所述第一激光束在所述被测物体表面上的第一测量点采用第一CCD成像系统得到第一成像图像,所述第二激光束在所述被测物体表面上的第二测量点采用第二CCD成像系统得到第二成像图像,所述第三激光束在所述被测物体表面上的第三测量点采用第三CCD成像系统得到第三成像图像;
步骤3)根据所述步骤2)中的三个成像图像,分别计算得到所述被测物体表面上的第一测量点的距离和角度、第二测量点的距离和角度、第三测量点的距离和角度;
步骤4)根据所述被测物体表面上的第一测量点的距离和角度、第二测量点的距离和角度、第三测量点的距离和角度,以及材料模型计算得到实际测量点的距离。
2.如权利要求1所述的三轴运动平台的高精度控制方法,其特征在于,所述材料模型为所述被测物体的材料的物理特性随温度变化的模型。
3.如权利要求2所述的三轴运动平台的高精度控制方法,其特征在于,所述步骤4)之前还包括预先利用数学建模建立不同材料的形变数学模型。
4.如权利要求3所述的三轴运动平台的高精度控制方法,其特征在于,所述步骤4)中还包括通过算法将所述成像图像的噪声滤除,并计算得到成像图像的重心位置,再根据该重心位置的距离模型计算出该测量点的精确距离。