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专利号: 2016100383775
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法,其特征在于,该方法具体步骤是:步骤(1)、将铜片用浓度为0.5~1.5mol/L的盐酸浸洗5~10秒,去离子水清洗后用氮气吹干,放入电炉的石英管中;

步骤(2)、石英管中持续通入氩气和氢气的混合气,氩气与氢气的流量比为1~3:2,将电炉温度升至900~1000℃后保温5~30分钟;

步骤(3)、同时向石英管内通入硼氨烷蒸气,20~30分钟后关闭通入硼氨烷蒸气;

步骤(4)、电炉停止加热,将石英管冷却到常温,冷却速率为20~30℃/min,然后关闭通入氢气和氩气,取出铜片;

步骤(5).将铜片取出,在铜片上表面旋涂PMMA溶液,PMMA溶液在空气中干燥5~30分钟形成PMMA薄膜黏附在铜片表面,然后浸入氯化铁溶液中溶解去除铜片,之后将漂浮在氯化铁溶液表面的PMMA薄膜转移至硅基底表面,接着将硅基底浸入丙酮中,经过30~180分钟,获得转移至硅片表面的氮化硼二维薄膜材料,薄膜的厚度在2~30nm之间;

步骤(6).将步骤(5)转移至硅片表面的氮化硼薄膜,放入退火炉中,在一定气氛中于

500~1000℃热处理10~360分钟,获得厚度减薄后的氮化硼薄膜,为原子层薄膜,薄膜厚度在0.5~5nm之间。

2.如权利要求1所述的一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法,其特征在于:所述的一定气氛,是指氢气、氩气、氮气、氧气或空气。

3.如权利要求1所述的一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法,其特征在于:所述的原子层薄膜厚度在单原子层至15个原子层厚度之间。

4.如权利要求1所述的一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法,其特征在于:硼氨烷蒸气通过水浴加热硼氨烷产生,水浴温度40~100℃。