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专利号: 2015103722269
申请人: 重庆科技学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-04-10
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,其特征在于:包括坩埚体和坩埚盖;所述坩埚盖与所述坩埚体配合,用于密封所述坩埚体;所述坩埚体包含底面和侧壁,所述坩埚体的内腔用于放置铁酸铋薄膜;所述坩埚体的侧壁对称设置有两个相同的通气孔;所述每个通气孔均插接有通气管。

2.根据权利要求1所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,其特征在于:所述通气管为石英管或者耐高温合金管。

3.根据权利要求1所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,其特征在于:所述坩埚体为圆柱体、正方体或者长方体。

4.根据权利要求1所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,其特征在于:所述通气管的外周面为阶梯形,所述通气管含有大端和小端,其小端插接于所述坩埚体侧壁上的通气孔内;其大端插接于与气瓶连接的石英管内,并用橡胶密封。

5.根据权利要求1所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,其特征在于:所述通气孔的孔径小于0.5cm。

6.使用权利要求1所述的装置制备有织构特征的铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:首先在基片上沉积铁酸铋薄膜;

铁酸铋薄膜定向退火:把沉积有铁酸铋薄膜的基片放置在托盘上,然后把托盘放置在坩埚体内,使通气管的轴线穿过铁酸铋薄膜,盖上坩埚盖;所述装置放置在管式炉中,使用管式炉加热退火;退火温度为580~630℃,时间为6~10小时;退火过程中,坩埚体侧壁上连接的两根通气管一根输入氧气,另一根排出氧气,使氧气在铁酸铋薄膜表面形成定向流动,从而得到有织构特征的铁酸铋薄膜。

7.根据权利要求6所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:采用溶胶-凝胶方法、化学溶液沉积法、化学气相沉积方法、脉冲激光沉积方法、分子束外延和磁控溅射方法其中一种方法在基片上沉积铁酸铋薄膜。

8.一种有织构特征的铁酸铋薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:使用权利要求

6所述的方法制备太阳能电池中的铁酸铋薄膜。

9.根据权利要求8所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜太阳能电池的方法,其特征在于:包括以下步骤:首先在基片上沉积下电极;再在下电极上沉积铁酸铋薄膜,然后对铁酸铋薄膜定向退火得到有织构特征的铁酸铋薄膜;最后在有织构特征的铁电薄膜上制备下电极;最终得到由下电极、有织构特征的铁酸铋薄膜、上电极组成的三明治结构的太阳能电池。

10.根据权利要求9所述的制备有织构特征的铁酸铋薄膜太阳能电池的方法,其特征在于:采用溶胶-凝胶方法、化学溶液沉积法、化学气相沉积方法、脉冲激光沉积方法、分子束外延和磁控溅射方法其中一种方法在基片上沉积下电极;将掩膜版置于有织构特征的铁酸铋薄膜表面上,通过蒸镀或沉积的方法镀上金属或金属氧化物薄膜为上电极。