1.一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化镉薄膜或硫化锌薄膜的方法，其特征在于，将

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金属源CdSO4或ZnSO4、络合剂、含S2O3 的硫源、H2SO4溶液混合，调节H2SO4溶液的加入量使混合液pH≥3.5，将衬底浸渍于混合液中，并保持液面与衬底的上底面的距离为2~5mm，紫外光照射，衬底上形成硫化镉薄膜或硫化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底为普通玻璃、涂覆有CZTS吸收层的玻璃或涂覆有CZTSSe吸收层的玻璃。

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3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述络合剂为EDTA溶液，所述含S2O3 的硫源为Na2S2O3或(NH4)2S2O3溶液。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述金属源CdSO4或ZnSO4浓度为-3 -3 -4

1.0×10 ~5.0×10 mol/L，络合剂EDTA的浓度为1.0×10 mol/L、硫源Na2S2O3或(NH4)2S2O3的浓度为0.05~0.3mol/L、H2SO4溶液质量分数5%。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述金属源CdSO4或ZnSO4、络合剂EDTA、硫源Na2S2O3或(NH4)2S2O3以及H2SO4溶液的体积比为1:1:1:0.1。

6. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述紫外光的波长为254nm或185nm，功2

率为50~500mW/cm。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，紫外光照射时间为20~40min。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，混合液pH为3.5~5.5。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，混合液在紫外光照射条件下常温常压反应。

10.一种实现权利要求1~9任一项所述方法的装置，其特征在于，包括源溶液供应装置、溶液混合装置、紫外光化学反应装置和紫外光光源系统，所述源溶液供应装置包括四个相互独立的容器，分别通过管道与溶液混合装置连通，所述溶液混合装置的出液口通过管道与紫外光化学反应装置的进液口连通，所述紫外光化学反应装置的出液口再通过回流管道与溶液混合装置的进液口连通，所述紫外光化学反应装置内设有放置衬底的支架，所述紫外光光源系统在紫外光化学反应装置上方。