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专利号: 2015101645681
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米银包覆铜颗粒膜复合材料的制备方法,其特征在于:首先在聚酰亚胺基体表面制备铜-铬合金膜,并使基体保持在200℃~330℃的温度以使铜原子在合金膜表面生长为铜颗粒,然后在制备的铜-铬合金膜表面沉积银薄膜即制得产品。

2.根据权利要求1所述的一种纳米银包覆铜颗粒膜复合材料的制备方法,其特征在于:所述在聚酰亚胺基体表面制备铜-铬合金膜的步骤如下:

1)将柔性聚酰亚胺基体清洗干净后置于磁控溅射镀膜机基片台上;

2)在镀膜机的靶位上分别放置好Cu靶和Cr靶,然后关闭真空室、开启机械泵和分子泵对真空室抽真空,使真空度达到0.0001-0.0005Pa,而后再对基片台进行加热,加热温度

200℃~330℃;

3)向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压为0.2-0.8Pa,然后同时接通Cu靶和Cr靶的电源在聚酰亚胺基体上共溅射沉积Cu-Cr合金薄膜;

4)Cu-Cr合金薄膜沉积完成后,继续保温30-100min,以使Cu-Cr合金薄膜中的Cu原子在薄膜表面析出、形核、生长成为不同尺度的Cu颗粒。

3.根据权利要求2所述的一种纳米银包覆铜颗粒膜复合材料的制备方法,其特征在于:所述Cu-Cr合金薄膜中Cu的含量为2-30at%,厚度为5-100nm。

4.根据权利要求1所述的一种纳米银包覆铜颗粒膜复合材料的制备方法,其特征在于:所述在铜-铬合金膜表面沉积银薄膜的操作为:在镀膜机的靶位上放置好Ag靶,当真空室真空度达到0.0001-0.0005Pa后,向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压达到

0.2-0.8Pa,然后接通Ag靶电源开始在铜-铬合金膜表面上沉积银薄膜,通过控制溅射功率和时间,以使沉积的Ag薄膜厚度为5-50nm。