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专利号: 2015101318656
申请人: 上海新储集成电路有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种实现局部互连的结构,其特征在于,包括:衬底,具有浅沟槽隔离结构和有源区;

隔离层,位于所述浅沟槽隔离结构的上表面,且不与所述有源区形成接触;

控制栅,位于所述隔离层的上表面,且通过所述隔离层与所述浅沟槽隔离结构相互隔离;

连接线,与所述控制栅电连接以将所述控制栅引出,进而实现局部互连。

2.如权利要求1所述的实现局部互连的结构,其特征在于,所述连接线嵌入设置于所述控制栅上部或位于所述控制栅的两侧。

3.如权利要求1所述的实现局部互连的结构,其特征在于,所述结构还包括:互连层,与所述连接线电连接以将所述控制栅引出,进而实现局部互连。

4.如权利要求3所述的实现局部互连的结构,其特征在于,所述互连层为金属或多晶硅栅。

5.如权利要求1所述的实现局部互连的结构,其特征在于,所述隔离层为硅的氧化物-硅的氮化物-硅的氧化物构成的三明治结构。

6.一种实现局部互连的方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一具有浅沟槽隔离结构和有源区的衬底;

于所述浅沟槽隔离结构的上方形成隔离层后,制备一控制栅覆盖所述隔离层的上表面;

继续形成与所述控制栅电连接的连接线,通过所述连接线将所述控制栅引出以实现局部互连。

7.如权利要求6所述的实现局部互连的方法,其特征在于,形成与所述控制栅电连接的连接线,具体为:采用CMOS接触孔工艺,部分刻蚀所述控制栅形成接触孔;

于所述接触孔中填充导电材料形成所述连接线。

8.如权利要求6所述的实现局部互连的方法,其特征在于,形成与所述控制栅电连接的连接线,具体为:采用CMOS接触孔工艺,于所述控制栅两侧分别形成所述连接线。

9.如权利要求6所述的实现局部互连的方法,其特征在于,所述方法还包括:形成与所述控制栅电连接的所述连接线后,继续形成与所述连接线电连接的互连层。

10.如权利要求6所述的实现局部互连的方法,其特征在于,所述隔离层为硅的氧化物-硅的氮化物-硅的氧化物构成的三明治结构。