1.一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量装置,其特征在于:包括光源系统(I)、波长杠杆式激光干涉系统(II)和干涉信号处理及控制系统(III);光源系统(I)输出波长分别为λ1和λ2的正交线偏振光束,射向波长杠杆式激光干涉系统(II)中的分光镜后,经波长杠杆式激光干涉系统(II)内的分光镜的近端或远端的测量光束经分光镜反射后,与透过分光镜的参考光束形成的干涉光束射向干涉信号处理及控制系统(III)中的偏振分光镜,干涉信号处理及控制系统(III)中的控制器控制光源系统(I)中的激光器输出波长为λ2的线偏振光;
所述光源系统(I),包括第一激光器(10)、第二激光器(11)、第一准直扩束器(12)、第二准直扩束器(13)、第一反射镜(14)和第一偏振分光镜(15);第一激光器(10)输出固定的波长λ1且偏振方向平行于纸面的线偏振光,经第一准直扩束器(12)后射向第一偏振分光镜(15),第二激光器(11)输出可变的波长λ2且偏振方向垂直于纸面的线偏振光,经第二准直扩束器(13)后射向第一反射镜(14),经第一反射镜(14)反射后射向第一偏振分光镜(15);
波长为λ1的线偏振光透过第一偏振分光镜(15)后和波长为λ2的线偏振光经第一偏振分光镜(15)反射后,合成一束正交的线偏振光束;
所述波长杠杆式激光干涉系统(II),包括第一分光镜(20)、第二偏振分光镜(21)、第一角锥棱镜(22)、第二分光镜(23)、第一快门(24)、第二快门(25)、第二反射镜(26)、第三反射镜(27)、第三分光镜(28)、第二角锥棱镜(29)和第三角锥棱镜(210);正交的线偏振光束射向第一分光镜(20)后被分成反射的参考光束和透射的测量光束,参考光束射向第二偏振分光镜(21),其中波长为λ2的线偏振光被第二偏振分光镜(21)反射后射向第一分光镜(20),波长为λ1的线偏振光透过第二偏振分光镜(21)、射向第一角锥棱镜(22)被反射后返回,再次透过第二偏振分光镜(21)后射向第一分光镜(20),测量光束射向第二分光镜(23)后被分成反射的近端测量光束和透射的远端测量光束,近端测量光束依次经过第一快门(24)、第二反射镜(26)、第二角锥棱镜(29)和第三分光镜(28)后射向第一分光镜(20),远端测量光束依次经过第二快门(25)、第三角锥棱镜(210)、第三反射镜(27)和第三分光镜(28)后射向第一分光镜(20);射向第一分光镜(20)近端或远端的测量光束经第一分光镜(20)反射后,与透过第一分光镜(20)的参考光束形成干涉光束;
所述干涉信号处理及控制系统(III),包括第三偏振分光镜(30)、第一光电探测器(31)、第二光电探测器(32)、数据采集模块(33)、计算机(34)和控制器(35);参考光束形成的干涉光束射向第三偏振分光镜(30),其中波长为λ2的干涉光束被第三偏振分光镜(30)反射后,由第一光电探测器(31)接收,波长为λ1的干涉光束透过第三偏振分光镜(30)后,由第二光电探测器(32)接收,两光电探测器输出的干涉信号分别送至数据采集模块(33),经数据采集模块(33)处理后传输到计算机(34),计算机(34)根据计算结果通过控制器(35)改变第二激光器(11)输出的波长λ2的值。
2.根据权利要求1所述的一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量装置,其特征在于:所述的光源系统(I)中,第一激光器(10)输出的激光波长λ1是固定值,第二激光器(11)输出的波长λ2是可变的。
3.根据权利要求1所述的一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量装置,其特征在于:所述的波长杠杆式激光干涉系统(II)中,由第二偏振分光镜(21)和第一角锥棱镜(22)构成参考臂;由第二分光镜(23)、第一快门(24)、第二快门(25)、第二反射镜(26)、第三反射镜(27)、第三分光镜(28)、第二角锥棱镜(29)和第三角锥棱镜(210)构成测量臂。
4.根据权利要求1所述的一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量装置,其特征在于:所述的波长杠杆式激光干涉系统(II)中,波长为λ1的线偏振光和波长为λ2的线偏振光在测量臂形成的合成波长λS与参考臂中射向第一角锥棱镜(22)的线偏振光的波长λ1有一一对应关系,测量臂中的被测绝对距离与参考臂中第一角锥棱镜(22)的运动位移形成杠杆式关系。
5.用于权利要求1所述测量装置的一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法,其特征在于,该方法的步骤如下:
1)第一激光器(10)输出固定的波长λ1,控制第二激光器(11)输出可变的波长λ2,使得波长λ1和波长λ2形成的首级合成波长λS1的一半大于被测绝对距离L,L为第二角锥棱镜(29)和第三角锥棱镜(210)之间的距离;
2)第一快门(24)打开、第二快门(25)关闭,此时从第二角锥棱镜(29)返回的近端测量光束与参考光束形成干涉信号,移动第一角锥棱镜(22),使得第一光电探测器(31)和第二探测器(32)检测到的波长λ2和波长λ1的干涉信号相位差为
3)第一快门(24)关闭、第二快门(25)打开,此时从第三角锥棱镜(210)返回的远端测量光束与参考光束形成干涉信号,第一光电探测器(31)和第二探测器(32)接收到的两路干涉信号相位差 发生变化,再次移动第一角锥棱镜(22)使得两路干涉信号的相位差 等于0,记录第一角锥棱镜(22)的运动位移为Δl;
4)首级合成波长λS1、波长λ1、被测绝对距离L和第一角锥棱镜(22)的运动位移Δl存在如下波长杠杆关系:
其中λS1=λ1λ2/|λ1-λ2|为波长λ1和波长λ2形成的首级合成波长,λ1和λ2为空气中的激光波长,根据上述波长杠杆关系,由计算机(34)算出被测绝对距离的首次粗测值:
5)计算机(34)通过控制器(35)改变第二激光器(11)输出的波长λ2,使波长λ1和波长λ2形成一系列合成波长λS2>λS3>…>λSn,且每级合成波长λSi>4u(L′i-1),i=2,3,…,n,其中u(L′i-1)为当合成波长为λSi-1时被测距离的估计值L′i-1的测量不确定度,当i=2时L′i-1=L1,重复步骤2)、步骤3),记录每次改变第二激光器(11)波长λ2时第一角锥棱镜(22)的运动位移为Δli,根据步骤4)中波长杠杆关系,由计算机(34)算出对应合成波长λSi小数部分的被测绝对距离的粗测值:
计算机(34)根据下式算出被测绝对距离L中包含的合成波长λSi的小数干涉级次值:
计算机(34)根据下式算出被测绝对距离L中包含的合成波长λSi的整数干涉级次值:
其中int[]表示向下取整;
计算机(34)根据下式算出被测绝对距离L的每次估计值:
当4u(L′n)<λ1时,计算机(34)根据下式算出被测绝对距离:
其中:
结束测量。