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专利号: 2013106778163
申请人: 济南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-06-27
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种多孔二氧化钛膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)以空心玻璃微珠作为基体,以Cu-Zn或Cu-Mn合金作为靶材,磁控溅射设备沉积Cu-Zn或Cu-Mn合金薄膜;

(2)采用酸性或碱性溶液进行脱合金化处理,后进行去离子水清洗至中性,再真空干燥;

(3)干燥后包裹多孔铜的玻璃微珠,磁控溅射设备表面沉积二氧化钛,制备出多孔二氧化钛。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的空心玻璃微珠是漂选的浮珠,粒径范围40-60目。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的Cu-Zn或Cu-Mn合金的铜含量范围为20~50%。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)中磁控溅射的具体工艺为:-3 -3

在真空度达到1.0×10 ~3.0×10 时,通入高纯氮气或高纯氩气,调整真空室内气压在

0.8~1.4Pa;直流溅射功率在80~160W;基底温度为室温,溅射时间为10~60min。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,酸性溶液为盐酸或硫酸中的一种,碱性溶液为氢氧化钠或氢氧化钾中的一种。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述酸性溶液的浓度为3~20wt%0,所述碱性溶液的浓度为0.5ml/L~-2mol/L。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,0.5ml/L~-2mol/L碱性溶液反应的时间为10min~60min;与3~20wt%酸性溶液反应的时间为30~120min。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)中所述的二氧化钛为纯度

99.9%的二氧化钛,其致密、表面光滑、内部无缩孔。

9.根据权利要求1所述的制备方法, 步骤(3)中所述磁控溅射的具体工艺为,在-3 -3 真空度达到1.0×10 ~3.0×10 时,通入高纯氮气或高纯氩气,调整真空室内气压在

0.5~1.2Pa;直流溅射功率在80~140W;基底温度为室温到350℃;溅射时间为30~120min。