1. 基于热电制冷器的高密度集成微纳光电子芯片散热装置,其特征在于,该装置包括斯特林发电机、热电制冷器和电源模块,热电制冷器安装在芯片顶部,其冷端与芯片的上表面接触,其热端与斯特林发电机的热腔接触;电源模块分别与所述斯特林发电机和热电制冷器并联电路连接;所述电源模块包括电池和控制电路。
2. 根据权利要求1所述的基于热电制冷器的高密度集成微纳光电子芯片散热装置,其特征在于,所述热电制冷器包括陶瓷基板、导热片和多个单体,单体由P型和N型碲化铋材料组成,所述导热片和多个单体固定安装在两片陶瓷基板之间。
3. 根据权利要求2所述的基于热电制冷器的高密度集成微纳光电子芯片散热装置,其特征在于,所述电源模块与热电制冷器的导热片连接,并且中间串联有一个限流电阻。