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专利号: 2013102028276
申请人: 欧阳俊
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全氮化物耐候性光热涂层,其特征是,以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层、氮化硅减反层,第一吸收亚层沉积30-150nm,第二吸收亚层沉积30-150nm,第二吸收亚层中的金属含量低于第一吸收亚层,氮化硅减反层沉积厚度为20-60nm。

2.根据权利要求1所述的一种全氮化物耐候性光热涂层,其特征是,以铁素体不锈钢作为基材。

3.一种全氮化物耐候性光热涂层的制备方法,包括步骤如下:

(1)以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,以TiAl为靶材,向腔室内注入流量35-45sccm的氩气,调节腔室压强在0.3-0.6Pa,再注入流量为2-5sccm的氮气,直流溅射功率

100-120w,基材针对靶材溅射8-12分钟;靶材与基片架中心轴距离为10cm;

(2)改变基材位置,使基材位于TiAl靶材和Si靶材两靶材之间,同时保持基材自转速度10-20转/分钟,改变通氮气流量为18-24sccm,TiAl靶材功率为100-120w,Si靶材功率为85-100w,共溅射12-18分钟;

(3)改变基材位置,使基材正对Si靶材,靶材与基片架中心轴距离为10cm,同时保持基材自转速度10-20转/分钟,通氮气流量为18-24sccm,Si靶材功率为85-100w,溅射13-18分钟,制备减反层。