1.一种LED外延片的形成方法,其特征在于,包括以下步骤:提供衬底,并在所述衬底之上形成缓冲层;
在所述缓冲层之上形成第一掺杂类型的半导体材料层;
在所述第一掺杂类型的半导体材料层之上形成量子阱结构;
在所述量子阱结构之上形成电子阻挡层,其中,包括:在所述量子阱结构上形成第一AlxGa1-xN层,在形成第一AlxGa1-xN层过程中,Al的组分x从第一组分值渐变至第二组分值,且所述第二组分值大于所述第一组分值,在所述第一AlxGa1-xN层上形成第二AlxGa1-xN层,在形成第二AlxGa1-xN层过程中,Al的组分x为定值,并且所述Al的组分x等于所述第二组分值,其中,第二AlxGa1-xN层Al的组分x为
0.1-0.25;以及
在所述电子阻挡层之上形成第二掺杂类型的半导体材料层。
2.如权利要求1所述的LED外延片的形成方法,其特征在于,所述Al的组分x的第一组分值为0.05,第二组分值为0.12。
3.如权利要求1所述的LED外延片的形成方法,其特征在于,形成所述量子阱结构的过程是以N2气为载气。
4.如权利要求1所述的LED外延片的形成方法,其特征在于,在形成所述缓冲层之后,还包括:在所述缓冲层之上形成非掺杂的半导体材料层。
5.如权利要求1所述的LED外延片的形成方法,其特征在于,其中,所述电子阻挡层的形成温度为800-900℃,压力为100-200mbar。
6.一种LED外延片,其特征在于,包括:
衬底;
形成在所述衬底之上的缓冲层;
形成在所述缓冲层之上的第一掺杂类型的半导体材料层;
形成在所述第一掺杂类型的半导体材料层之上的量子阱结构;
形成在所述量子阱结构之上的电子阻挡层;以及
形成在所述电子阻挡层之上的第二掺杂类型的半导体材料层,其中,所述电子阻挡层包括第一AlxGa1-xN层和第二AlxGa1-xN层,所述第一AlxGa1-xN层中Al的组分x从第一组分值渐变至第二组分值,所述第一AlxGa1-xN层中与所述量子阱结构接触的部分x为第一组分值,所述第一AlxGa1-xN层中与第二AlxGa1-xN层接触的部分x为第二组分值,且所述第二组分值大于所述第一组分值,所述第二AlxGa1-xN层中Al的组分x为定值,并且所述Al的组分x等于所述第二组分值,其中,第二AlxGa1-xN层Al的组分x为0.1-0.25。
7.如权利要求6所述的LED外延片,其特征在于,所述Al的组分x的第一组分值为0.05,第二组分值为0.12。
8.如权利要求6所述的LED外延片,其特征在于,形成所述量子阱结构是以N2气为载气形成的。
9.如权利要求6所述的LED外延片,其特征在于,在形成所述缓冲层之后,还包括:在所述缓冲层之上形成非掺杂的半导体材料层。
10.如权利要求6所述的LED外延片,其特征在于,其中,所述电子阻挡层的形成温度为
800-900℃,压力为100-200mbar。