1.一种行星式跟踪喷头六轴五联动电解研抛机,其特征在于:该研抛机包括控制系统(1)、X-Y轴移动工作台(2)、Z轴移动工作台(3)、旋转盘托架(4)、托架A(5)、托架B(13)、电解酸液行星跟踪机构(50)和磨头(21);控制C轴的旋转盘托架(4)安装在X-Y轴移动工作台(2)上,控制A轴的托架A(5)安装在Z轴移动工作台(3)上;在托架A(5)上设有控制A轴旋转的步进电机A(6),步进电机A(6)与轴(10)连接;在轴(10)上设有托架B(13),控制B轴旋转的步进电机B(14)设置在托架B(13)上;在托架B(13)上设有主轴电机(17),磨头(21)与主轴电机(17)连接,在主轴电机(17)与磨头(21)间设有绝缘装置(20);在旋转盘托架(4)上设有步进电机C(31),步进电机C(31)通过蜗杆(32)、涡轮(33)与旋转台(34)连接,在旋转台(34)上设有组合凹模(36);电解酸液行星跟踪机构(50)包括电解电源、电解液步进电机(23)和喷头(26),与磨头(21)同步运动的喷头(26)与电解液步进电机(23)连接;步进电机A(6)、步进电机B(14)、步进电机C(31)、电解液步进电机(23)和主轴电机(17)均与控制系统(1)连接;在旋转盘托架(4)与组合凹模(36)之间设有绝缘垫(35),在组合凹模(36)上设有绝缘及密封罩(37),绝缘及密封罩(37)通过压板(47)压在组合凹模(36)上;电解酸液行星跟踪机构(50)还包括伸缩胶管(39)、轴套(40)、调节阀(44)、电机和泵(45)和酸液流回酸液箱(46),轴套(40)设置在组合凹模(36)的下端,伸缩胶管(39)的一端套装在轴套(40)上,另一端与酸液流回酸液箱(46)连接;喷头(26)通过调节阀(44)、电机和泵(45)与酸液流回酸液箱(46)连接。
2.根据权利要求1所述的行星式跟踪喷头六轴五联动电解研抛机,其特征在于:磨头(21)为圆柱形且由金刚石制成,磨头(21)前端有圆角,直径在4-12mm,圆角半径在2-6mm。