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专利号: 2010105578715
申请人: 比亚迪股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-09-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1. 一种片式氧传感器,所述片式氧传感从下至上依次包括加热层、参比气层和传感层;其特征在于,所述参比气层上具有通孔,加热层、参比气层与传感层在通孔处形成密闭的参比腔。

2.根据权利要求1所述的片式氧传感器,其特征在于,以参比气层的总面积为基准,通孔的面积为5-10%。

3.根据权利要求1或2所述的片式氧传感器,其特征在于,传感层包括氧化锆敏感基体和分别位于氧化锆敏感基体上、下表面的测试电极、参比电极;参比电极位于参比腔内。

4.根据权利要求3所述的片式氧传感器,其特征在于,参比腔的形状与参比电极的形状匹配。

5.根据权利要求1所述的片式氧传感器,其特征在于,传感层上方还设有多孔保护层,多孔保护层覆盖于测试电极上表面。

6.根据权利要求1所述的片式氧传感器,其特征在于,加热层包括加热器基体和加热器基体上的绝缘层,绝缘层内夹持有加热电极。

7.根据权利要求1所述的片式氧传感器,其特征在于,加热层的厚度为110-200μm,参比气层的厚度为110-180μm,氧化锆敏感基体的厚度为110-180μm。

8.一种片式氧传感器的制备方法,包括先在参比气层上切割通孔,然后将加热层、参比气层和传感层按从下至上的顺序叠加,热压、烧结,在通孔处形成密闭的参比腔,得到所述片式氧传感器。

9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)取一加热器基片,在加热器基片上依次印刷绝缘层浆料、电极浆料、绝缘层浆料,烘干,在加热器基片上形成绝缘层,得到加热层;

2)在氧化锆敏感基体的两侧分别印刷电极浆料,烘干,在氧化锆敏感基体两侧形成电极;然后在一侧的电极上印刷多孔保护层,烘干形成表面覆盖有多孔保护层的传感层;

3)将加热层的绝缘层的一面朝上,表面覆盖有多孔保护层的传感层的多孔保护层的一面朝上,将加热层、参比气层、表面覆盖有多孔保护层的传感层从下到上依次叠加,将叠层热压、共烧得到片式氧传感器。

10.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,热压的条件包括热压温度为

50-100℃,热压压力为25-50Mpa;共烧的条件包括共烧温度为1400-1500℃,共烧时间为

1-3h。