1.一种溶剂净化装置,其与使用规定的溶剂进行清洗运转的清洗装置连接,用于进行所述溶剂的净化,其特征在于,具有:循环路径,其用于使从所述清洗装置流出的溶剂流通并流回到所述清洗装置;
第一过滤装置,沿在所述循环路径流通的溶剂的流向观察,该第一过滤装置设于所述循环路径的上游侧且用于过滤流通的溶剂;
第二过滤装置,沿在所述循环路径流通的溶剂的流向观察,该第二过滤装置设于所述循环路径的下游侧且用于过滤流通的溶剂;
分离机构,其将所述第一过滤装置从所述循环路径分离;
蒸馏器,其取出所述被分离的所述第一过滤装置中的溶剂,进行蒸馏并净化;
压力传感器,其用于检测在包含所述第二过滤装置在内的流路中流动的溶剂的压力;
复原机构,其基于所述压力传感器的输出,用于使所述溶剂被取出的所述第一过滤装置回到所述循环路径内。
2.如权利要求1所述的溶剂净化装置,其特征在于,所述复原机构包含判断机构,该判断机构基于所述压力传感器的输出,判断是否为溶剂在所述循环路径循环的同时所述清洗装置进行清洗运转的循环清洗,当所述判断机构判定为不是循环清洗时,使所述第一过滤装置回到所述循环路径内。
3.如权利要求2所述的溶剂净化装置,其特征在于,在所述压力传感器未检测到规定压力的状态持续时,所述判断机构判定为不是循环清洗。
4.如权利要求1~3中任一项所述的溶剂净化装置,其特征在于,所述第一过滤装置包含旋转盘式过滤器。
5.如权利要求4所述的溶剂净化装置,其特征在于,所述第一过滤装置包含旋转控制机构,在所述旋转盘式过滤器的溶剂被取出之前,该旋转控制机构使所述旋转盘式过滤器以规定速度旋转而进行过滤器的再生。