1、一种纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于包括下述步骤:①将纳米晶合金元素的各组分粉末在惰性气体保护气氛下球磨得纳米晶合金粉末;②将步骤①制备的纳米晶合金粉末添加粘结剂后注射成型,得软磁合金生坯;③将步骤②制备的软磁合金生坯干燥,再经萃取脱脂后,置于微波冶炼设备中烧结,即得纳米晶软磁合金元件。
2、 按照权利要求1所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述步骤①中的软磁合金的元素包括Fe、 Co、 Nb、 Si、 B、 Cu,元素的粉末粒 径为50 - 85pm;其中各元素的重量百分比为:Fe 70-75%, Co 0-1%, Nb 2-4%, Si 10-15%, B 7-10%, Cu 0-1%。
3、 按照权利要求1所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述步骤①中的5求磨是在球磨罐中球磨15 - 50h,其球磨罐转速为200 - 350rpm, 球料比为6 — 9:1。
4、 按照权利要求1所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述步骤②中的注射成型是将纳米晶合金粉末与粘结剂在混炼机上混炼1 -1.5h,再在挤出机上制粒;制粒后在注射温度为110-130°C,注射压力为50 -70MPa条件下注射成型,得到所需形状的软磁合金生坯。
5、 按照权利要求1或4所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在 于所述纳米晶合金^^分末与粘结剂的体积比为65 - 75 : 25 - 35。
6、 按照权利要求5所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述粘结剂为聚乙烯、石蜡和硬脂酸中的 一种或其中几种的混合物。
7、 按照权利要求1所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述步骤③萃取脱脂是在温度为40-50。C的脱脂溶剂中浸放7-9h,再在550 -650。C进行真空热脱脂4 - 6h。
8、 按照权利要求7所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所述脱脂溶剂为三氯乙烯和/或丙酮。
9、 按照权利要求1所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于所 述步骤③中的微波烧结是将软磁合金生坯先置入多孔陶瓷隔热腔内,再将其 放入微波烧结炉中真空烧结。
10、 按照权利要求9所述纳米晶软磁合金元件的制备方法,其特征在于 所述微波烧结是在温度为500 - 650°C ,真空度为(1 - 2 ) xi(T2Pa条件下真空 烧结20 - 35min。